本發明涉及半導體，尤其涉及一種用于重物拆裝的輔助裝置。
背景技術：
1、半導體設備腔室上方的噴淋板、大擋板及噴淋上板等重型零部件，是保障工藝氣體分布、熱力學穩定性及真空密封的核心功能組件。然而，其大質量與高安裝精度要求導致傳統人力拆裝面臨多重難題：單人操作需要承擔較大的重量，而雙人協作時空間受限易導致部件偏移，致使密封膠圈脫落或壓損，反復調整還可能引發部件與腔體磕碰，造成設備停機與維修成本激增。也就是說，現有技術中，機臺因結構緊湊性限制，缺乏專用輔助工裝，亟需一種集成多自由度調節的裝置，以解決在有限的空間中，重型部件拆裝的精準定位與人力負荷的問題。
技術實現思路
1、本發明的實施例提供了一種用于重物拆裝的輔助裝置，解決了傳統依靠人工拆裝存在的單人負荷較大以及拆裝過程中精度無法控制的技術問題。
2、為了解決上述問題，根據本申請的一個方面，本發明的實施例提供了一種用于重物拆裝的輔助裝置，所述輔助裝置包括基座、升降組件、旋轉組件、橫移組件以及抓取組件，所述基座位于所述升降組件下方用于將所述輔助裝置固定于腔室的預留孔位，所述旋轉組件的一側連接于所述升降組件的側面，所述旋轉組件的另一側與所述橫移組件連接，所述抓取組件懸掛于所述橫移組件下方用于抓取重物。
3、在一些實施例中，所述升降組件包括手輪、傳送單元和梯形絲杠，所述傳送單元的輸入端與所述手輪連接，所述傳送單元的輸出端通過聯軸器與所述梯形絲杠連接；所述旋轉組件與所述梯形絲杠的螺母副連接。
4、在一些實施例中，所述傳送單元包括第一錐齒輪和第二錐齒輪，所述第一錐齒輪與所述手輪的輸出軸連接，所述第一錐齒輪與所述第二錐齒輪嚙合，所述第二錐齒輪通過平鍵與所述梯形絲杠同軸固定。
5、在一些實施例中，所述旋轉組件包括雙深溝球軸承和旋轉軸，所述雙深溝球軸承的內圈固定在所述旋轉軸的軸承安裝段；所述橫移組件通過螺栓連接于所述雙深溝球軸承的外圈。
6、在一些實施例中，所述橫移組件包括支撐桿、導軌以及滑塊，所述支撐桿連接于所述旋轉組件的一側，所述導軌設置在所述支撐桿上，所述滑塊滑動設置在所述支撐桿上，且其內部具有與所述導軌匹配的配合部。
7、在一些實施例中，所述導軌表面設有等距分布的定位凹槽，所述滑塊通過固定件與所述定位凹槽配合鎖定。
8、在一些實施例中，所述抓取組件包括柔性鋼鏈、快裝掛鉤以及快速耦合單元，所述柔性鋼鏈的上端連接至所述滑塊的底部，所述柔性鋼鏈的下端與所述快裝掛鉤連接，所述快速耦合單元活動設置在所述快裝掛鉤上用于將重物安裝至所述抓取組件。
9、在一些實施例中，所述快裝掛鉤包括中心盤和沿所述中心盤向外輻射的支撐臂，所述支撐臂至少具有三個，三個所述支撐臂沿周向分布。
10、在一些實施例中，所述快速耦合單元為快裝螺絲，所述快裝螺絲與所述支撐臂一一對應，且分別設置在對應的所述支撐臂的端部。
11、在一些實施例中，所述基座包括基座本體，所述基座本體的上表面具有向外延伸的固定端，所述固定端上具有固定孔，所述基座還包括定位件，所述定位件穿過所述固定孔和所述預留孔位以實現所述輔助裝置的安裝。
12、與現有技術相比，本發明的用于重物拆裝的輔助裝置至少具有下列有益效果：
13、本發明提供的一種用于重物拆裝的輔助裝置包括基座、升降組件、旋轉組件、橫移組件以及抓取組件，所述基座位于所述升降組件下方用于將所述輔助裝置固定于腔室的預留孔位，所述旋轉組件的一側連接于所述升降組件的側面，所述旋轉組件的另一側與所述橫移組件連接，所述抓取組件懸掛于所述橫移組件下方用于抓取重物。
14、本發明中，升降組件替代人工舉升動作，抓取組件的穩定抓取避免多人協作時的力量不均，從根本上降低操作者的體力消耗。旋轉組件允許重物在水平面內自由轉向，橫移組件提供高精度平移，二者協同可在狹窄空間內實現“先旋轉避障、后微調對位”的操作，避免雙人操作時因空間擁擠引發的部件偏移。本實施例通過通過升降、旋轉、橫移的多自由度協同運動，裝置能夠規劃最優拆裝路徑，減少人工反復調整次數，降低碰撞概率，同時也解決了人工安裝和拆卸存在的單人負荷較大以及拆裝過程中精度無法控制的技術問題。
15、上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本發明的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。
1.一種用于重物拆裝的輔助裝置，其特征在于，所述輔助裝置包括基座、升降組件、旋轉組件、橫移組件以及抓取組件，所述基座位于所述升降組件下方用于將所述輔助裝置固定于腔室的預留孔位，所述旋轉組件的一側連接于所述升降組件的側面，所述旋轉組件的另一側與所述橫移組件連接，所述抓取組件懸掛于所述橫移組件下方用于抓取重物。
2.根據權利要求1所述的用于重物拆裝的輔助裝置，其特征在于，所述升降組件包括手輪、傳送單元和梯形絲杠，所述傳送單元的輸入端與所述手輪連接，所述傳送單元的輸出端通過聯軸器與所述梯形絲杠連接；所述旋轉組件與所述梯形絲杠的螺母副連接。
3.根據權利要求2所述的用于重物拆裝的輔助裝置，其特征在于，所述傳送單元包括第一錐齒輪和第二錐齒輪，所述第一錐齒輪與所述手輪的輸出軸連接，所述第一錐齒輪與所述第二錐齒輪嚙合，所述第二錐齒輪通過平鍵與所述梯形絲杠同軸固定。
4.根據權利要求1所述的用于重物拆裝的輔助裝置，其特征在于，所述旋轉組件包括雙深溝球軸承和旋轉軸，所述雙深溝球軸承的內圈固定在所述旋轉軸的軸承安裝段；所述橫移組件通過螺栓連接于所述雙深溝球軸承的外圈。
5.根據權利要求1所述的用于重物拆裝的輔助裝置，其特征在于，所述橫移組件包括支撐桿、導軌以及滑塊，所述支撐桿連接于所述旋轉組件的一側，所述導軌設置在所述支撐桿上，所述滑塊滑動設置在所述支撐桿上，且其內部具有與所述導軌匹配的配合部。
6.根據權利要求5所述的用于重物拆裝的輔助裝置，其特征在于，所述導軌表面設有等距分布的定位凹槽，所述滑塊通過固定件與所述定位凹槽配合鎖定。
7.根據權利要求5所述的用于重物拆裝的輔助裝置，其特征在于，所述抓取組件包括柔性鋼鏈、快裝掛鉤以及快速耦合單元，所述柔性鋼鏈的上端連接至所述滑塊的底部，所述柔性鋼鏈的下端與所述快裝掛鉤連接，所述快速耦合單元活動設置在所述快裝掛鉤上用于將重物安裝至所述抓取組件。
8.根據權利要求7所述的用于重物拆裝的輔助裝置，其特征在于，所述快裝掛鉤包括中心盤和沿所述中心盤向外輻射的支撐臂，所述支撐臂至少具有三個，三個所述支撐臂沿周向分布。
9.根據權利要求8所述的用于重物拆裝的輔助裝置，其特征在于，所述快速耦合單元為快裝螺絲，所述快裝螺絲與所述支撐臂一一對應，且分別設置在對應的所述支撐臂的端部。
10.根據權利要求1-9任一項所述的用于重物拆裝的輔助裝置，其特征在于，所述基座包括基座本體，所述基座本體的上表面具有向外延伸的固定端，所述固定端上具有固定孔，所述基座還包括定位件，所述定位件穿過所述固定孔和所述預留孔位以實現所述輔助裝置的安裝。