本發明涉及空氣純化裝置及空氣純化方法。

背景技術：

1、一直以來，已知一種通過變溫吸附法，從含有水、二氧化碳等雜質的原料空氣中除去雜質并且導出純化空氣的空氣純化裝置。專利文獻1公開了這種空氣純化裝置。專利文獻1中記載的空氣純化裝置具有兩個吸附塔。在專利文獻1的空氣純化裝置中，在一個吸附塔中進行純化原料空氣的空氣純化處理，在另一個吸附塔中進行使吸附劑再生的再生處理。在專利文獻1的空氣純化裝置中，通過在兩個吸附塔之間交替地進行上述的空氣純化處理和再生處理，能夠作為整體連續純化空氣。

2、現有技術文獻

3、專利文獻

4、專利文獻1：日本專利特開2017-80669號公報

技術實現思路

1、發明要解決的課題

2、然而，如專利文獻1所記載的空氣純化裝置那樣，在兩個吸附塔之間交替切換進行空氣純化處理和再生處理的情況下，純化空氣的氧濃度有時會在切換前后發生變動。具體而言，在從再生處理切換到空氣純化處理的一個吸附筒中切換后立即純化的純化空氣的氧濃度有時與至即將進行切換前為止進行了空氣純化處理的另一個吸附筒中所純化的純化空氣的氧濃度不同。

3、從再生處理切換到空氣純化處理的一個吸附筒，在即將進行切換之前，例如通過充壓，與正在執行空氣純化處理的另一個吸附筒進行均壓化。由此，能夠將空氣純化處理的執行從另一個吸附筒連續地切換到這一個吸附筒。但是，由于上述的均壓化，在一個吸附筒中，有時會發生氧、氮向吸附劑的吸附或從吸附劑的脫離。即，在一個吸附筒中，通過在即將從再生處理向空氣純化處理進行切換之前執行上述的均壓化，有時會發生上述切換前后的氧濃度的變動。

4、該氧濃度的變動在剛剛切換后發生，但隨著在一個吸附筒中進行空氣純化處理而消除。但是，例如對于在作為半導體制造裝置之一的曝光裝置中使用的空氣等中發生上述切換前后的氧濃度的變動可能是不好的。

5、本發明的目的在于提供一種在兩個吸附筒之間交替切換空氣純化處理及再生處理時，能夠抑制切換前后發生的純化空氣的氧濃度的變動的空氣純化裝置及空氣純化方法。

6、用于解決課題的手段

7、關于作為本發明的第一方面的空氣純化裝置，

8、(1)

9、是通過變溫吸附法從原料空氣中除去雜質從而純化所述原料空氣的空氣純化裝置，其中，

10、所述空氣純化裝置包括兩個吸附筒，所述兩個吸附筒填充有能夠吸附所述雜質的吸附劑，且能夠交替進行使用所述吸附劑純化所述原料空氣的空氣純化處理以及使所述吸附劑的吸附能力再生的再生處理，

11、所述兩個吸附筒中執行所述再生處理的一個吸附筒，在與所述兩個吸附筒中執行所述空氣純化處理的另一個吸附筒成為均壓狀態下執行流吹(flow-purge)后，切換為執行所述空氣純化處理。

12、關于作為本發明的一個實施方式的空氣純化裝置，

13、(2)

14、根據上述(1)所述的空氣純化裝置，包括：

15、再生氣體供給路徑，能夠在所述再生處理中向所述兩個吸附筒供給再生氣體；以及

16、排氣路徑，能夠在所述再生處理中將從所述吸附劑脫離的所述雜質與所述再生氣體混合的狀態下的排出氣體從所述兩個吸附筒排出，

17、在所述再生處理中，在所述一個吸附筒與所述另一個吸附筒成為均壓狀態之前，從所述一個吸附筒通過所述排氣路徑排出所述排出氣體，在所述一個吸附筒與所述另一個吸附筒成為均壓狀態之后，從所述一個吸附筒通過所述排氣路徑排出流吹氣體。

18、關于作為本發明的一個實施方式的空氣純化裝置，

19、(3)

20、根據上述(2)所述的空氣純化裝置，其中，在所述排氣路徑設置有能夠調整流量的流量調整部，

21、通過操作所述流量調整部，所述一個吸附筒與所述另一個吸附筒成為均壓狀態。

22、關于作為本發明的一個實施方式的空氣純化裝置，

23、(4)

24、根據上述(3)所述的空氣純化裝置，其中，所述排氣路徑包括：

25、排出氣體路徑，能夠從所述一個吸附筒排出所述排出氣體；以及

26、流吹氣體路徑，能夠在執行所述流吹時從所述一個吸附筒排出所述流吹氣體，

27、所述流量調整部包括：

28、第一開閉閥，設置在所述排出氣體路徑；以及

29、第二開閉閥，設置在所述流吹氣體路徑且在打開狀態下的流量比所述第一開閉閥小，

30、通過操作所述第一開閉閥及所述第二開閉閥的開閉狀態，使所述一個吸附筒與所述另一個吸附筒成為均壓狀態。

31、關于作為本發明的第二方面的空氣純化方法，

32、(5)

33、是通過變溫吸附法從原料空氣中除去雜質從而純化所述原料空氣的空氣純化方法，其中，包括：

34、連續純化工序，通過填充有能夠吸附所述雜質的吸附劑的兩個吸附筒交替進行使用所述吸附劑純化所述原料空氣的空氣純化處理以及使所述吸附劑的吸附能力再生的再生處理，

35、在所述連續純化工序中，所述兩個吸附筒中的執行所述再生處理的一個吸附筒，在與所述兩個吸附筒中的執行所述空氣純化處理的另一個吸附筒成為均壓狀態下執行流吹后，切換為執行所述空氣純化處理。

36、關于作為本發明的一個實施方式的空氣純化方法，

37、(6)

38、根據上述(5)所述的空氣純化方法，其中，設置有：

39、再生氣體供給路徑，能夠在所述再生處理中向所述兩個吸附筒供給再生氣體；以及

40、排氣路徑，能夠將在所述再生處理中從所述吸附劑脫離的所述雜質與所述再生氣體混合的狀態下的排出氣體從所述兩個吸附筒排出，

41、在所述再生處理中，在使所述一個吸附筒與所述另一個吸附筒成為均壓狀態之前，從所述一個吸附筒通過所述排氣路徑排出所述排出氣體，在使所述一個吸附筒與所述另一個吸附筒成為均壓狀態之后，從所述一個吸附筒通過所述排氣路徑排出流吹氣體。

42、關于作為本發明的一個實施方式的空氣純化方法，

43、(7)

44、根據上述(6)所述的空氣純化方法，其中，在所述排氣路徑設置有能夠調整流量的流量調整部，

45、通過操作所述流量調整部，使所述一個吸附筒與所述另一個吸附筒成為均壓狀態。

46、關于作為本發明的一個實施方式的空氣純化方法，

47、(8)

48、根據上述(7)所述的空氣純化方法，其中，所述排氣路徑包括：

49、排出氣體路徑，能夠從所述一個吸附筒排出所述排出氣體；以及

50、流吹氣體路徑，能夠在執行所述流吹時從所述一個吸附筒排出所述流吹氣體，

51、所述流量調整部包括：

52、第一開閉閥，設置在所述排出氣體路徑；以及

53、第二開閉閥，設置在所述流吹氣體路徑，且在打開狀態下的流量比所述第一開閉閥小，

54、通過操作所述第一開閉閥及所述第二開閉閥的開閉狀態，使所述一個吸附筒與所述另一個吸附筒成為均壓狀態。

55、發明的效果

56、根據本發明，能夠提供在兩個吸附筒之間交替地執行空氣純化處理和再生處理的情況下能夠抑制在切換前后產生的純化空氣中氧濃度的變動的空氣純化裝置和空氣純化方法。