本技術(shù)實施例涉及蒸鍍，尤其涉及一種蒸鍍裝置、顯示面板及其制備方法。

背景技術(shù)：

1、傳統(tǒng)顯示面板制備過程中，通常通過精細金屬掩模板（fmm）實現(xiàn)發(fā)光像素圖形化。fmm技術(shù)成熟、量產(chǎn)經(jīng)驗豐富。但是，fmm技術(shù)同時又具有精度有限、開發(fā)成本高、開發(fā)周期長等問題。無精細金屬掩模技術(shù)消除了傳統(tǒng)oled（有機發(fā)光二極管）工藝對顯示屏尺寸、分辨率及其他屏體性能的限制，具有高性能、全域尺寸、敏捷交付的優(yōu)勢。

2、專利申請cn118251982a、cn115666161a、cn116648095a、cn117062489a、cn118678742a、cn118785761a、cn115224220a、cn118678729a、cn118660529a、cn118660589a記載了無精細金屬掩模技術(shù)的相關(guān)內(nèi)容，以供參考。

3、顯示面板的制備工藝包括蒸鍍工藝，蒸鍍工藝需要用到蒸鍍裝置，但是現(xiàn)有的蒸鍍裝置有待改進。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本技術(shù)實施例提供一種蒸鍍裝置、顯示面板及其制備方法，以至少部分解決上述問題。

2、根據(jù)本技術(shù)實施例的第一方面，提供了一種蒸鍍裝置。蒸鍍裝置用于蒸鍍顯示面板的母板。母板包括空白部和多個面板部，相鄰的至少兩個面板部被空白部隔開，空白部設(shè)置有至少一個第一對位標記。蒸鍍裝置包括多個蒸鍍源、載臺和遮擋掩模板。載臺具有朝向多個蒸鍍源的承載面。承載面用于承載母板。遮擋掩模板位于承載面和多個蒸鍍源之間，具有主體部和由主體部圍合形成的多個蒸鍍開口，主體部上設(shè)置有對應(yīng)于至少一個第一對位標記的至少一個第二對位標記。其中，在至少一個第二對位標記與至少一個第一對位標記配合對位后，面板部從對應(yīng)的蒸鍍開口露出、并與多個蒸鍍源至少部分相對。

3、在一些實施例中，至少一個第一對位標記包括多個第一對位標記，空白部包括多個第一角落區(qū)域，多個第一對位標記分設(shè)于多個第一角落區(qū)域。至少一個第二對位標記包括多個第二對位標記，主體部包括對應(yīng)于多個第一角落區(qū)域的多個第二角落區(qū)域，多個第二對位標記對應(yīng)于多個第一對位標記而分設(shè)于多個第二角落區(qū)域。

4、在一些實施例中，在多個第二對位標記與多個第一對位標記配合對位后，第一對位標記的外邊緣在承載面上的正投影圍合形成的第一形狀具有第一面積，第二對位標記的外邊緣在承載面上的正投影圍合形成的第二形狀具有第二面積，面板部在承載面上的正投影具有第三面積，其中：第一面積小于第三面積，第二面積小于第三面積，第一面積小于第二面積。

5、在一些實施例中，多個第一對位標記和多個第二對位標記的數(shù)量相等，第一對位標記具有第一圖案，第二對位標記具有與對應(yīng)的第一對位標記的第一圖案相配合的第一開口，在至少一個第二對位標記與至少一個第一對位標記配合對位后，第一圖案從對應(yīng)的第一開口中露出。

6、在一些實施例中，第一開口在承載面上的正投影面積小于蒸鍍開口在承載面上的正投影面積。

7、在一些實施例中，多個第一對位標記至少包括第一子對位標記和第二子對位標記，多個第二對位標記至少包括對應(yīng)于第一子對位標記的第三子對位標記和對應(yīng)于第二子對位標記的第四子對位標記，其中：

8、第一子對位標記對應(yīng)的第一圖案的形狀，不同于第二子對位標記對應(yīng)的第一圖案的形狀；

9、第三子對位標記對應(yīng)的第一開口在承載面的正投影的形狀，不同于第四子對位標記對應(yīng)的第一開口在承載面的正投影的形狀。

10、在一些實施例中，多個第一對位標記至少包括第一子對位標記和第二子對位標記，多個第二對位標記至少包括對應(yīng)于第一子對位標記的第三子對位標記和對應(yīng)于第二子對位標記的第四子對位標記，其中：

11、第一子對位標記對應(yīng)的第一圖案的寬度，小于第二子對位標記對應(yīng)的第一圖案的寬度；

12、第三子對位標記對應(yīng)的第一開口在承載面的正投影的寬度，小于第四子對位標記對應(yīng)的第一開口在承載面的正投影的寬度。

13、在一些實施例中，多個第一對位標記、多個第二對位標記、多個第一角落區(qū)域和多個第二角落區(qū)域的數(shù)量均為4個，第一對位標記設(shè)置于對應(yīng)的第一角落區(qū)域，第二對位標記設(shè)置于對應(yīng)的第二角落區(qū)域。

14、在一些實施例中，第一圖案為十字形、井字形和矩形中的至少之一，第一圖案對應(yīng)的第一開口在承載面的正投影的形狀為十字形、井字形和矩形中的至少之一。

15、在一些實施例中，多個第一對位標記的數(shù)量小于多個第二對位標記的數(shù)量，多個第一對位標記至少包括一個第五子對位標記，多個第二對位標記至少包括與第五子對位標記對應(yīng)的多個第六子對位標記，其中：

16、第五子對位標記具有第二圖案，第六子對位標記具有與第二圖案相配合的第二開口，在第五子對位標記與第六子對位標記配合對位后，第二圖案的部分從多個第二開口中露出。

17、在一些實施例中，在第五子對位標記與第六子對位標記配合對位后，第二圖案在承載面上的正投影面積，大于多個第二開口的外邊緣在承載面上的正投影圍合形成的形狀的總面積。

18、在一些實施例中，空白部設(shè)置有多個測試端子，測試端子與對應(yīng)的面板部電連接，其中：

19、在至少一個第二對位標記與至少一個第一對位標記配合對位后，主體部將多個測試端子與多個蒸鍍源隔開。

20、在一些實施例中，空白部設(shè)置有多個測試器件，測試器件設(shè)置于對應(yīng)的面板部的一旁，包括虛擬像素電路、虛擬隔離結(jié)構(gòu)和虛擬第一電極，虛擬隔離結(jié)構(gòu)圍合形成隔離開口，虛擬第一電極的部分從隔離開口露出、且與虛擬像素電路電連接，其中：

21、在至少一個第二對位標記與至少一個第一對位標記配合對位后，主體部將多個測試器件與多個蒸鍍源隔開。

22、在一些實施例中，在至少一個第二對位標記與至少一個第一對位標記配合對位后，主體部在承載面上的正投影覆蓋多個測試端子在承載面上的正投影、且主體部在承載面上的正投影覆蓋多個測試器件在承載面上的正投影。

23、在一些實施例中，位于多個蒸鍍開口之間的主體部的寬度，小于位于多個蒸鍍開口一旁的主體部的寬度。

24、根據(jù)本技術(shù)實施例的第二方面，提供了一種制備顯示面板的方法。制備顯示面板的方法包括：將顯示面板的母板移動至如上述的蒸鍍裝置的載臺的承載面上，其中，母板包括空白部和多個面板部，相鄰的至少兩個面板部被空白部隔開，空白部設(shè)置有至少一個第一對位標記；

25、移動遮擋掩模板，以將至少一個第二對位標記與至少一個第一對位標記配合對位，使得面板部從對應(yīng)的蒸鍍開口露出、并與多個蒸鍍源中的至少部分相對；

26、利用從多個蒸鍍源噴出的蒸鍍材料，以對母板的多個面板部進行蒸鍍。

27、在一些實施例中，空白部設(shè)置有多個測試端子和多個測試器件，測試端子與對應(yīng)的面板部電連接，測試器件設(shè)置于對應(yīng)的面板部的一旁，包括虛擬像素電路、虛擬隔離結(jié)構(gòu)和虛擬第一電極，虛擬隔離結(jié)構(gòu)圍合形成隔離開口，虛擬第一電極的部分從隔離開口露出、且與虛擬像素電路電連接；

28、在對母板的多個面板部進行蒸鍍的步驟中，主體部將多個測試端子與多個蒸鍍源隔開、且主體部將多個測試器件與多個蒸鍍源隔開；

29、在對母板的多個面板部進行蒸鍍的步驟之后，方法還包括：

30、以測試端子對相應(yīng)的面板部進行點燈測試；

31、以測試器件對相應(yīng)的面板部進行陰極搭接阻抗測試。

32、在一些實施例中，在以測試器件對相應(yīng)的面板部進行陰極搭接阻抗測試的步驟之后，方法還包括：

33、在空白部進行切割，使蒸鍍后的多個面板部彼此分離，以得到多個顯示面板，顯示面板包括對應(yīng)的蒸鍍后的面板部；

34、其中，在使蒸鍍后的多個面板部彼此分離的過程中，測試端子與對應(yīng)的蒸鍍后的面板部分離、且測試器件與對應(yīng)的蒸鍍后的面板部分離。

35、根據(jù)本技術(shù)實施例的第三方面，提供了一種顯示面板，顯示面板包括利用如上述任一實施例的方法制備而成。

36、在一些實施例中，顯示面板包括襯底、隔離結(jié)構(gòu)和多個發(fā)光器件。隔離結(jié)構(gòu)位于襯底的一側(cè)，隔離結(jié)構(gòu)圍合形成多個隔離開口。發(fā)光器件的部分位于對應(yīng)的隔離開口內(nèi)，發(fā)光器件包括沿遠離襯底的方向依次設(shè)置的第一電極、發(fā)光功能層和第二電極，第二電極與隔離結(jié)構(gòu)搭接。

37、根據(jù)本技術(shù)實施例提供的方案，在蒸鍍源和載臺之間設(shè)置遮擋掩模板，遮擋掩模板上的第二對位標記與母板上的第一對位標記配合對位，可以減少蒸鍍源與母板的位置對位偏差，使得蒸鍍材料可以準確地蒸鍍在母板的對應(yīng)位置，以提高母板的膜層圖案的對位精度，從而提高發(fā)光器件的對位精度，進一步提高顯示面板的顯示效果。