本發(fā)明涉及半導體生產(chǎn)，具體為一種半導體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工磨削裝置。

背景技術(shù)：

1、硅晶圓是用硅單晶制成的圓形材料，它是半導體器件制造中的基礎(chǔ)材料，晶圓柱是這種材料的形態(tài)之一，它是將硅熔融后在晶體生長過程中形成的圓柱形硅單晶，這種圓柱形狀的硅晶體可以切割成薄片，然后用于制造各種半導體器件。

2、專利公告號為cn215510588u的專利涉及一種半導體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工設(shè)備，包括底座，所述底座的頂部固定連接有透明罩，該專利在使用時，通過防護罩的設(shè)置可以有效的對打磨過程中產(chǎn)生的粉塵進行隔絕，避免飄散的粉塵對工作人員的身體造成危害，且通過伺服電機、第二螺紋桿、第二螺紋套、固定桿和t形桿之間的相互配合可以在透明罩外側(cè)對打磨盤的位置進行調(diào)節(jié)，也避免了工作人員直接上手操作帶來的危害，通過夾板、壓板、弧形開槽、防滑墊、第一螺紋桿和手搖輪之間的相互配合避免在打磨過程中硅晶圓柱晃動，影響打磨效率，且通過側(cè)板和液壓缸之間的相互配合通過對兩個側(cè)板之間距離的調(diào)節(jié)，可以對不同長度的硅晶圓柱進行加工，使用效果好。

3、上述專利中，具有對不同長度的硅晶圓柱進行夾持的功能，通過第一螺紋桿與手搖輪之間的配合，工作人員可以輕松調(diào)節(jié)夾持裝置以適應(yīng)各種長度的硅晶圓柱，不僅簡化了操作過程，還滿足多種生產(chǎn)需求，但是在打磨過程中，平面的夾板無法完全貼合圓柱形硅晶圓柱的曲面，由于接觸面有限，導致硅晶圓柱受到的夾持力分布不均勻，使得硅晶圓柱在打磨過程中發(fā)生移位或振動，從而影響打磨的精度。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種半導體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工磨削裝置，解決了上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)：一種半導體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工磨削裝置，包括加工板，所述加工板的頂部固定安裝有放置板，所述加工板的頂部固定貫穿有線性驅(qū)動機構(gòu)，所述線性驅(qū)動機構(gòu)的移動端頂部固定安裝有驅(qū)動電機，所述驅(qū)動電機的輸出端固定安裝有裝載板，所述裝載板遠離驅(qū)動電機的一端固定貫穿有打磨機構(gòu)，所述加工板的頂部開設(shè)有滑槽，還包括夾持裝置；其中，夾持裝置包括電動推桿、搭載板、t形桿、一號彈簧、橡膠板、升降板、一號彈片、兩個銜接桿、弧形條和支撐桿，啟動電動推桿，電動推桿的輸出端帶動搭載板向放置板方向移動，搭載板移動帶動t形桿向放置板方向移動，所述電動推桿固定安裝在加工板的頂部，所述搭載板固定安裝在電動推桿的輸出端，所述t形桿滑動貫穿在搭載板遠離電動推桿的一面，所述一號彈簧設(shè)置在t形桿與搭載板之間，所述橡膠板固定安裝在t形桿遠離搭載板的一面，所述升降板滑動貫穿在搭載板的頂部，所述一號彈片設(shè)置在升降板與搭載板之間，兩個所述銜接桿固定安裝在升降板遠離電動推桿的一面，所述弧形條設(shè)置在銜接桿遠離升降板的兩端，所述支撐桿固定安裝在升降板的底部，所述支撐桿滑動貫穿在搭載板的底部，所述橡膠板遠離搭載板的一面開設(shè)有波紋一，橡膠板的波紋一在移動過程中與硅晶圓柱接觸，橡膠板受到硅晶圓柱施加的阻擋停止移動。

3、根據(jù)上述技術(shù)方案，所述t形桿靠近升降板的一端開設(shè)有球面一，所述升降板靠近t形桿的一面開設(shè)有斜面一，升降板的斜面一在移動中與球面一接觸，斜面一繼續(xù)移動受到球面一施加的阻力向下移動。

4、根據(jù)上述技術(shù)方案，所述弧形條本身具有彈性，弧形條的中間位置受到阻擋停止移動，銜接桿移動拉伸弧形條的兩端，弧形條受到拉伸發(fā)生形變，所述弧形條靠近橡膠板的一面開設(shè)有防滑槽。

5、根據(jù)上述技術(shù)方案，所述還包括防塵裝置和鎖定裝置；所述防塵裝置包括移動框、玻璃罩、矩形板、二號彈片、接觸板、限位板、圓柱塊、彈性片和圓桿，升降板在移動中與接觸板接觸，升降板移動對接觸板施加推力，接觸板受到推力的影響向放置板方向移動，所述移動框滑動安裝在滑槽的頂部，所述玻璃罩固定安裝在移動框的內(nèi)部，所述矩形板滑動安裝在移動框的內(nèi)壁，所述二號彈片設(shè)置在矩形板與移動框之間，所述接觸板固定安裝在矩形板的底部，所述限位板固定安裝在移動框的外壁，所述圓柱塊固定安裝在矩形板的表面，所述彈性片固定安裝在移動框的內(nèi)壁，矩形板移動的同時帶動圓柱塊向彈性片方向移動，圓柱塊在移動中與彈性片接觸，所述圓桿固定安裝在移動框的內(nèi)壁。

6、根據(jù)上述技術(shù)方案，所述彈性片以矩形板為對稱軸等距分布在移動框的內(nèi)壁，圓柱塊繼續(xù)移動擠壓彈性片，彈性片受到擠壓發(fā)生形變，形變中的彈性片與圓桿接觸的面分離，所述限位板靠近放置板的一面開設(shè)有斜面二，所述限位板遠離移動框的一面開設(shè)有圓孔。

7、根據(jù)上述技術(shù)方案，所述彈性片遠離圓桿的一面開設(shè)有弧面一，圓柱塊復位移動時與彈性片的弧面一接觸，圓柱塊繼續(xù)移動擠壓弧面一，彈性片受到擠壓發(fā)生形變，所述彈性片與圓桿的圓周面接觸。

8、根據(jù)上述技術(shù)方案，所述鎖定裝置包括固定板、移動桿、二號彈簧、活動板、握桿、對接桿、銜接座、轉(zhuǎn)動板和阻擋板，對接桿移動帶動活動板向阻擋板方向移動，活動板移動帶動移動桿向阻擋板方向移動，所述固定板固定安裝在加工板的表面，所述移動桿滑動貫穿在固定板的內(nèi)部，所述二號彈簧設(shè)置在移動桿與固定板之間，所述活動板固定安裝在移動桿靠近固定板的一面，所述握桿固定安裝在活動板遠離加工板的一面，所述對接桿固定安裝在活動板遠離握桿的一面，所述銜接座固定安裝在固定板的頂部，所述轉(zhuǎn)動板轉(zhuǎn)動安裝在銜接座的內(nèi)部，所述阻擋板固定安裝在固定板的頂部，所述對接桿遠離活動板的一端開設(shè)有球面二，限位板的斜面二在移動中與球面二接觸，斜面二繼續(xù)移動對球面二施加推力，對接桿受到推力的影響向活動板方向移動。

9、根據(jù)上述技術(shù)方案，所述轉(zhuǎn)動板與銜接座之間設(shè)置有渦卷彈簧，所述轉(zhuǎn)動板遠離握桿的一面開設(shè)有半圓槽，握桿的圓周面在移動中與半圓槽接觸，使得轉(zhuǎn)動板對握桿的移動施加限位，同時對接桿無法與移動中的限位板接觸，所述轉(zhuǎn)動板與阻擋板接觸。

10、本發(fā)明提供了一種半導體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工磨削裝置。具備以下有益效果：

11、（1）該半導體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工磨削裝置，t形桿在拉力的作用下對橡膠板施加推力，使得波紋一與硅晶圓柱緊密接觸，通過一號彈簧形變過程中施加的拉力，確保波紋一與硅晶圓柱緊密接觸，有助于提高夾持的穩(wěn)定性，弧形條的兩端向下彎曲，弧形條的防滑槽在形變過程中與硅晶圓柱的曲面緊密貼合，通過加工板施加的支撐力提高打磨的穩(wěn)定性，再用弧形條對硅晶圓柱施加壓力，確保打磨過程中硅晶圓柱不會發(fā)生偏轉(zhuǎn)影響打磨效果。

12、（2）該半導體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工磨削裝置，二號彈片在自身彈性的作用下對移動框施加反作用力，兩側(cè)的移動框在反作用力的影響下緊密接觸，通過二號彈片施加的反作用力，確保玻璃罩能夠有效阻止打磨過程中產(chǎn)生的粉末飛散到工作區(qū)域，彈性片在自身彈性的作用下進行復原，彈性片在復原過程中與圓桿碰撞產(chǎn)生振動，通過彈性片與圓桿間歇碰撞產(chǎn)生多次振動，再將振動傳遞給移動框，避免滑槽內(nèi)堆積的粉塵影響移動框移動的流暢性。

13、（3）該半導體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工磨削裝置，對接桿穿過圓孔，使得對接桿對移動框進行限位，通過對接桿穿過圓孔對移動框進行限位，使工作人員在規(guī)范操作后才能打開玻璃罩，有助于提高操作的安全性，轉(zhuǎn)動板對握桿的移動施加限位，同時對接桿無法與限位板接觸，通過主動限位活動板，方便工作人員根據(jù)實際情況旋轉(zhuǎn)使用對接桿，有助于提高對接桿的實用性。