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本發明屬于半導體晶圓制造，尤其涉及一種降低金屬氮化物損傷的干法去膠設備及方法。、金屬氮化物層廣泛應用于半導體制造工藝中。如高介電常數金屬柵極（hkmg）工藝中，tin/tan作為功函數層或阻擋層；銅互連（cu?damascene）工藝中，tan/tin作為擴散阻擋層；d?nand和dram...

本申請涉及半導體器件的加工領域，尤其涉及一種靜電吸附裝置、以及一種半導體器件的加工設備。、晶圓是用于制備半導體裝置的基底。為了制備半導體器件(例如集成電路、半導體發光裝置、太陽能電池等)，需要將晶圓放置于半導體處理腔室(也稱反應腔室)，通過靜電吸附等方式將晶圓固定在半導體處理腔室內的加熱托...

本發明涉及半導體設備制造領域，尤其涉及用于多腔室的可視化蓋板。、在現有技術中，多腔室半導體工藝設備因其產能高，效能出眾被廣泛應用。但因其腔室多，需要腔內腔外兩套傳片裝置互相配合，傳片過程步驟繁長，點位眾多，傳片的重復性、一致性、精準性要求極高。、而在上述多腔室半導體工藝設備中，普遍存在的問...

本發明涉及半導體制造的，具體涉及了一種噴淋結構、一種半導體器件的工藝設備，一種半導體器件的工藝方法，以及一種計算機可讀存儲介質。、半導體器件的工藝流程中，前道高溫工藝（通常溫度超過℃）會導致晶圓表面熱應力累積或影響后續工藝精度，因此需要通過向工藝腔內通入冷卻氣體來對晶圓實現快速降溫。、現有...

本發明涉及仿生觸覺，具體為雙螺旋壓電纖維陣列傳感器及制備方法。、隨著可穿戴設備的持續發展，目前可穿戴設備已具備彎曲、折疊和拉伸等柔性功能，這些特性使柔性可穿戴設備具有很強的適應性，使其在醫療、體育和生活等智慧場景中具有巨大的應用潛力。、本發明發明人在實現本發明的過程中，發現：現有觸覺傳感器...

本發明涉及電子器件，具體涉及一種基于雙面冷卻和全對稱布局的功率模塊封裝結構。、隨著功率電子器件向高功率密度與高集成度發展，有效的熱管理與電氣性能成為提升系統可靠性的核心。雙面冷卻封裝技術通過在芯片上下表面同時散熱，并利用平面互連替代傳統線焊，在降低模塊熱阻與寄生電感、提升電流能力方面展現出...

、互連電路用于將電力和/或信號從一個位置傳輸到另一個位置。一些應用例子包括但不限于電池組（例如，將各個電池互連）、太陽能電池陣列（例如，將太陽能電池板中的各個電池互連）、交通工具（例如，線束）、燈具（例如，連接多個發光二極管）、各種類型的電氣和電子式電路等。雖然傳統的互連電路可以傳輸信號，...

本發明涉及數據處理，具體涉及一種柔性模切線路板的高精度制備方法。、柔性線路板（fpc）的圓刀模切是其制備過程中的關鍵工序，當前的質量控制方法存在顯著的技術缺點：如cna等現有技術，主要通過對模切后的單板壓力圖像進行分析來篩選不合格品，無法在缺陷發生時進行實時干預，導致廢品持續產生，現有方法...

本發明屬于通信，更為具體地講，涉及一種抗干擾通信裝置。、通信裝置是信息社會的重要技術，無論是日常使用的手機、電腦等消費電子設備，還是支撐城市運轉的交通、能源系統，亦或是關乎國家安全的軍事國防領域，通信裝置都發揮著不可或缺的重要作用。在通信裝置的眾多性能指標中，抗干擾能力是一項重要指標。一旦...

本發明涉及太陽能電池，尤其涉及一種背接觸太陽能電池的制備方法及背接觸太陽能電池。、隨著太陽能電池技術的發展，背接觸太陽能電池以其優良的光電轉化效率成為太陽能電池領域的主流電池。但背接觸太陽能電池的n型摻雜區和p型摻雜區全部集成于電池背面，導致制備步驟繁瑣，成本較高，制約了其量產效率，并且，...

本發明涉及一種pcb鉆孔加工優化方法、裝置、終端及儲存介質，屬于pcb加工。、隨著數通產品路由、交換機產品由.t(gbps)升級到.t（gbps），板厚由.mm增加到.~.mm左右，pcb板層數由平均層上升到層以上，內層銅從oz(所有層銅累加)上升到oz以上，這個給鉆孔制程帶來巨大挑戰，容...

本申請涉及半導體微納制造及紅外探測器芯片制備領域，具體而言，涉及一種一種改善inas/gasb超晶格刻蝕側壁粗糙度的方法。、?inas/gasb超晶格作為一種高性能的紅外探測材料，因其能帶可調、暗電流低等優點，在第三代紅外焦平面探測器領域展現出巨大的應用潛力。然而，在實際器件制備中，尤其是...

本申請涉及壓電驅動器，更具體地說，是涉及一種疊層壓電驅動器及疊層壓電驅動器制造方法。、壓電材料是一類在受到外部機械壓力作用時會在相對兩端產生電壓的功能晶體材料，能夠實現機械能與電能之間的相互轉換。壓電陶瓷作為典型的壓電材料，兼具壓電性、介電性和彈性等特性，因其優良的能量轉換性能而被廣泛應用...

本發明涉及鋰電池熱管理，具體涉及一種電芯加熱系統及加熱裝置的熱仿真方法。、近年來，得益于新能源技術的快速發展，新能源電池，尤其是鋰電池由于其高能量密度、長循環壽命的優點成為研究和工程應用的熱點。然而，鋰電池的工作性能、循環壽命、安全性與溫度密切相關。在低溫環境下(通常指℃以下)，鋰電池的有...

本發明屬于半導體加工，具體涉及一種適用不同直徑晶圓的雙面同步清潔裝置。、晶圓，即半導體芯片集成電路制作所使用的晶片，由于其形狀為圓形，故也稱之為晶圓。通過在晶圓表面制作各種電路結構，可使其成為具有特定電性功能的電子元器件。在晶圓的生產加工過程中，通常需要經過切片、研磨、拋光和清洗等工藝步驟...

本發明屬于光伏器件制造，具體涉及一種四端子鈣鈦礦晶硅疊層電池用智能動態層壓設備。、四端子鈣鈦礦-晶硅疊層電池需通過中間聚合物間隔層實現機械堆疊組合，四端子疊層電池的間隔層材料多樣（如丙烯酸樹脂、環氧樹脂、pvb、poe、eva等），其折射率與層壓參數強相關，但由于現有適用于晶硅組件的聚合物...

本公開總體而言涉及包括暴露的導電層的電子裝置以及制造此類裝置的方法。、對于電子裝置的制造而言，將一個晶片接合到另一個晶片拓寬了設計可能性。但是，可供其他電子裝置訪問的連接焊盤的設計和制造工藝仍面臨一些挑戰。特別地，在焊盤被用于測試目的的情況下，常常期望焊盤允許在組裝前測試形成晶片之一的一部...

本文中本公開涉及顯示面板、電子設備和用于制造電子設備的方法，并且更具體地，涉及包括焊盤區域的顯示面板、電子設備和用于制造電子設備的方法。、各種電子設備包括響應于電信號而激活的至少一個顯示區域。電子設備可以檢測從外部通過顯示區域施加的輸入，并且還在顯示區域中顯示各種圖像以向用戶提供信息。、電...

本發明涉及一種內存組件，且特別涉及一種電阻式隨機存取存儲器(resistiverandom?access?memory，reram)與其形成方法。、電阻式隨機存取存儲器的主要結構包括上下兩層電極以極為于其中的阻值轉換層(resistance?switch?layer)，借由控制寫入電壓的大...

本公開涉及顯示，特別是涉及一種顯示面板及其制備方法、顯示裝置。、顯示面板常設有用于檢測環境光的環境光孔。相關技術中，顯示面板的透光區域和正常顯示區存在刻蝕負載效應（loading?effect），影響顯示面板的顯示效果。技術實現思路、基于此，有必要針對現有技術中的隔離層出現刻蝕負載效應問題...