基板加工系統及基板檢測方法
【專利摘要】本發明涉及一種基板加工系統，包括基板加工設備和基板檢測裝置；基板加工設備包括真空腔室，基板加工設備用于在真空腔室內加工基板；基板檢測裝置包括圖像傳感器和控制模塊，圖像傳感器設置于真空腔室內，圖像傳感器用于檢測并反饋基板的狀態；控制模塊與圖像傳感器和基板加工設備連接，控制模塊用于控制圖像傳感器的工作，還用于根據反饋的基板的狀態控制基板加工設備的工作。本發明還提供一種基板檢測方法，包括步驟：檢測基板的狀態；判斷基板是否為不良基板，若是，則發送不良基板信號；根據不良基板信號發出指令；接收指令并執行相應操作。上述系統及方法，可及時發現真空腔室內正在加工的不良基板，從而及時避免造成不必要的浪費及損失。
【專利說明】
基板加工系統及基板檢測方法
技術領域
[0001]本發明涉及顯示器生產領域，特別涉及一種基板加工系統及基板檢測方法。
【背景技術】
[0002]目前OLED面板生產過程中，為了保證面板的顯示效果，對基板的蒸鍍或封裝都是在真空腔室內完成的。為了保證真空度，真空腔室都為密閉式的。
[0003]但是，如果基板在蒸鍍或封裝過程中基板出現不良狀況，比如裂紋或破損，工作人員不能第一時間發現，這樣會有碎肩或殘渣留在蒸鍍或封裝設備中，會造成后續基板成批次的報廢，對顯示面板的生產有很大影響，導致物料利用率低，良率低，生產成本高，甚至會損壞設備內部部件，造成設備長時間停機及其他不可挽回的損失。即使沒有碎肩或殘渣，僅僅是基板上有裂紋，該基板已經是報廢品了，繼續進行后續加工，也會造成不必要的成本浪費。

【發明內容】

[0004]基于此，有必要針對上述基板在蒸鍍或封裝過程中出現不良狀況，工作人員不能第一時間發現的問題，提供一種基板加工系統及基板檢測方法。
[0005]—種基板加工系統，用于加工基板，包括基板加工設備和基板檢測裝置;所述基板加工設備包括真空腔室，所述基板加工設備用于在所述真空腔室內加工所述基板;所述基板檢測裝置包括圖像傳感器和控制模塊，所述圖像傳感器設置于所述真空腔室內，所述圖像傳感器用于檢測并反饋所述基板的狀態;所述控制模塊與所述圖像傳感器、所述基板加工設備連接，所述控制模塊用于控制所述圖像傳感器的工作，所述控制模塊還用于根據反饋的所述基板的狀態控制所述基板加工設備的工作。
[0006]上述基板加工系統，由于設置了基板檢測裝置，并且該基板檢測裝置的圖像傳感器設置于真空腔室內，使得基板加工設備在真空腔室內加工基板的同時，基板檢測裝置能夠對基板的狀態進行實時檢測，一旦檢測到基板存在不良狀況，比如裂紋或破損，控制模塊便能控制基板加工設備做出相應的動作，這樣可以及時發現不良基板，從而及時避免造成不必要的浪費及損失。
[0007]在其中一個實施例中，所述基板的狀態包括所述基板的基本信息、完整度信息或圖形信息;所述基本信息包括條形碼、編號或功能;所述完整度信息包括裂紋情況或破損情況;所述圖形信息包括所述基板的形狀或所述基板上的圖案。
[0008]在其中一個實施例中，所述控制模塊能夠自動記錄所述基板的狀態和所述基板加工設備的工作狀態。
[0009]在其中一個實施例中，所述基板加工系統還包括暫存腔室，所述基板加工設備將所述圖像傳感器檢測到的不良的所述基板傳送至所述暫存腔室，所述暫存腔室用于存放不良的所述基板。
[0010]在其中一個實施例中，所述基板加工系統還包括中央控制器，所述中央控制器與所述基板檢測裝置和所述基板加工設備連接，所述中央控制器用于控制所述基板檢測裝置和所述基板加工設備的工作。
[0011]在其中一個實施例中，所述中央控制器與所述圖像傳感器通過通訊線路連接，所述圖像傳感器能夠通過所述通訊線路將所述基板的狀態上傳至所述中央控制器，所述中央控制器用于根據所述基板的狀態控制所述基板加工系統的工作。
[0012]在其中一個實施例中，所述中央控制器與所述控制模塊連接，所述中央控制器用于控制所述控制模塊的工作，所述控制模塊能夠將獲得的信息上傳至所述中央控制器。
[0013]在其中一個實施例中，所述基板加工系統還包括監控器，設置于所述真空腔室外部，所述監控器的輸入端與所述圖像傳感器的輸出端連接，所述監控器用于接收并顯示所述圖像傳感器檢測到的所述基板的狀態，工作人員能夠通過所述監控器觀測到所述基板的狀態。
[0014]一種基板檢測方法，用于檢測被加工的基板，包括步驟:
[0015]檢測所述基板的狀態；
[0016]判斷所述基板是否為不良基板，若是，則發送不良基板信號；
[0017]根據所述不良基板信號發出指令；
[0018]接收所述指令并執行相應操作。
[0019]上述基板檢測方法，在真空腔室內加工基板的同時，能夠對基板的狀態進行實時檢測。一旦檢測到不良基板，比如基板存在裂紋或破損，便能發出相應指令，控制設備做出相應的動作，這樣可以及時發現不良基板，并及時執行相應操作，從而可以及時避免造成不必要的浪費及損失。
[0020]在其中一個實施例中，所述指令為停止指令、報警指令或將所述不良基板傳送至不良基板存放處的指令。
【附圖說明】
[0021 ]圖1為本發明一實施例的基板加工系統的結構不意圖；
[0022]圖2為本發明一實施例的基板檢測方法的流程示意圖。
【具體實施方式】
[0023]為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本發明的【具體實施方式】做詳細的說明。
[0024]請參照圖1，為本實施例的基板加工系統100的結構示意圖。如圖1所示，一種基板加工系統100，用于加工基板，包括基板加工設備110和基板檢測裝置120。基板加工設備110包括真空腔室111，基板加工設備110用于在真空腔室111內加工基板。基板檢測裝置120包括圖像傳感器121和控制模塊122，圖像傳感器121設置于真空腔室111內，圖像傳感器121用于檢測并反饋基板的狀態。控制模塊122與圖像傳感器121、基板加工設備110連接，控制模塊122用于控制圖像傳感器121的工作，控制模塊122還用于根據反饋的基板的狀態控制基板加工設備110的工作。
[0025]上述基板加工系統100，由于設置了基板檢測裝置120，并且該基板檢測裝置120的圖像傳感器121設置于真空腔室111內，使得基板加工設備110在真空腔室111內加工基板的同時，基板檢測裝置120能夠對基板的狀態進行實時檢測，一旦檢測到基板存在不良狀況，比如裂紋或破損，控制模塊122便能控制基板加工設備110做出相應的動作，這樣可以及時發現不良基板，從而及時避免造成不必要的浪費及損失。
[0026]本實施例中，真空腔室111設置于基板加工設備110的內部，基板加工設備110還包括包圍真空腔室111的外壁(未示出)，以保證真空腔室111的安全性。以基板蒸鍍或封裝為例，將基板放入真空腔室111，基板加工設備110啟動，對基板進行蒸鍍或封裝。需要說明的是，真空腔室111并非絕對意義上的真空，而是把腔室內的氣體壓強抽到低于正常氣壓，具體的氣體壓強根據實際需要設定，以適應不同的生產加工需求。
[0027]圖像傳感器121是感光元件，能夠將光學圖像轉化成電子信號，這樣可以便于圖像傳感器121的信號傳輸，具體地，圖像傳感器121可以為電荷耦合元件傳感器(CCD圖像傳感器)或者金屬氧化物半導體元件傳感器(CMOS圖像傳感器)。本實施例中，圖像傳感器121實時檢測真空腔室111內正在加工的基板狀態，以及時發現不良基板，比如基板出現裂紋或破損。
[0028]其中，基板的狀態包括基板的基本信息、完整度信息或圖形信息。基本信息包括條形碼、編號或功能。完整度信息包括裂紋情況或破損情況。圖形信息包括基板的形狀或基板上的圖案。本實施例中，基板的狀態包括基板的基本信息、完整度信息和圖形信息。其中，條形碼代表間的生產國、制造廠家、商品名稱、生產日期等基板的來源信息。在當前加工基板的工廠中，編號和功能分別代表基板的內部編碼和用途信息。基板的狀態反映當前正在被加工的基板的所有信息，用圖像傳感器121檢測正在加工的基板的狀態，能夠及時核對基板類型是否正確，同時還能夠檢測到基板是否是不良基板，如果是不良基板，基板加工系統100會執行相應的操作，避免損失。
[0029]本實施例中，控制模塊122位于真空腔室111外部，便于工作人員操作。控制模塊122能夠自動記錄基板的狀態和基板加工設備110的工作狀態。這樣工作人員可以隨時查詢控制模塊122的記錄的信息，從而獲得基板的良率和基板加工設備110的工作情況，比如基板加工設備110運轉是否正常，基板加工設備110的連續運轉時間，基板加工設備110轉移及更換基板的次數等。
[0030]在其中一個實施例中，基板加工系統100還包括中央控制器130，中央控制器130與基板檢測裝置120和基板加工設備110連接，中央控制器130用于控制基板檢測裝置120和基板加工設備110的工作。中央控制器130控制基板檢測裝置120和基板加工設備110的開啟與關閉，以及開啟之后的工作模式，比如暫停工作、恢復工作或者信息記錄工作等，這樣，中央控制器130便可以從全局控制整個基板加工系統100的工作。
[0031]中央控制器130與圖像傳感器121通過通訊線路連接，圖像傳感器121能夠通過通訊線路將基板的狀態上傳至中央控制器130，中央控制器130用于根據基板的狀態控制基板加工系統100的工作。具體地，本實施例中，中央控制器130與圖像傳感器121通過網絡連接，優選地，可以通過局域網連接。這樣，中央控制器130可以直接接收圖像傳感器121檢測到的基板的狀態，從而可以根據基板的狀態直接控制整個基板加工系統100的工作。比如中央控制器130接收到基板有裂縫或破損的信號，中央控制器130可以直接控制整個基板加工系統100停止工作，更換基板，提高效率。
[0032]中央控制器130與控制模塊122連接，控制模塊122能夠將獲得的信息上傳至中央控制器130，中央控制器130用于控制控制模塊122的工作。這樣，中央控制器130可以及時根據控制模塊122上傳的基板的狀態和基板加工設備110工作狀態控制控制模塊122的工作，方便快捷，提高效率。還可以方便工作人員隨時從中央控制器130上查看基板的狀態及基板加工設備110的工作情況。
[0033]基板加工系統100還包括監控器140，設置于真空腔室111外部，監控器140的輸入端與圖像傳感器121的輸出端連接，監控器140用于接收并顯示圖像傳感器121檢測到的基板的狀態。這樣使工作人員能夠直觀地通過監控器140觀測到基板的狀態，從而工作人員能夠根據基板的狀態相應地操作基板加工系統100。監控器140可以設置于基板加工設備110的外壁上，也可以設置于基板加工設備110附近的其它位置，可以方便工作人員在希望的位置觀測基板的狀態。此外，圖像傳感器121能夠拍攝到真空腔室111內部的圖像，工作人員可以從監控器140上觀看到真空腔室內部的情況，如果發現真空腔室111內部存在殘渣或者碎肩，工作人員可以及時控制基板加工設備110執行相應操作，避免碎肩或殘渣損壞基板加工設備110的內部部件。
[0034]在其中一個實施例中，基板檢測裝置還包括圖像處理電路，圖像處理電路的輸入端與圖像傳感器的輸出端連接，圖像處理電路的輸出端與監控器的輸入端連接，圖像處理電路用于將圖像傳感器的輸出信號轉換為監控器能夠識別的圖像信號。這樣可以方便高效地使圖像傳感器的檢測結果傳輸并顯示在監控器上。
[0035]在其中一個實施例中，基板加工系統還包括暫存腔室，基板加工設備將圖像傳感器檢測到的不良的所述基板傳送至暫存腔室，暫存腔室用于存放圖像傳感器檢測到的不良的基板。基板加工設備能夠將不良基板傳送至暫存腔室，這樣，如果發現不良基板，基板加工設備不用停機，便自動將不良基板傳送至暫存腔室，同時自動加工后續的基板，進一步提高基板加工系統的工作效率。
[0036]請參照圖2，為本發明一實施例的基板檢測方法的流程示意圖。如圖2所示，一種基板檢測方法，用于檢測被加工的基板，包括:
[0037]步驟SI10，檢測基板的狀態。
[0038]具體地，本實施例中，用圖像傳感器121檢測基板的所有信息，包括基板的基本信息，完整度信息及圖形信息，以確認正在加工的基板類型是否正確，及檢測基板是否有裂紋或破損。本實施例中，可以用圖像傳感器檢測基板的狀態，若確認基板類型不正確，則更換為正確基板。這樣可以及時發現正在加工的基板有無問題，并采取相應措施解決問題，避免繼續加工有問題的基板造成資源浪費。
[0039]需要說明的是，檢測基板狀態的設備不局限于圖像傳感器121，在其它實施例中，還可以用光電探測器、透射電子顯微鏡、射線檢測儀等設備檢測基板的狀態。
[0040]步驟S130，判斷基板是否為不良基板，若是，則發送不良基板信號。
[0041]具體地，本實施例中，圖像傳感器121根據檢測到的基板的狀態判斷當前正在被加工的基板是否為不良基板，即有無破損或裂紋等不良狀況。若為不良基板，則發送不良基板信號。若是良好基板，則基板加工執行常規流程。在其它實施例中，判斷基板是否為不良基板的工作也可以由其它控制設備完成，比如可以由控制模塊122根據檢測到的基板的狀態判斷基板是否為不良基板。
[0042]步驟S150，根據不良基板信號發出指令。
[0043]具體地，本實施例中，控制模塊122接收圖像傳感器121發送的不良基板信號，及時發出控制指令，自動控制基板加工的操作。在其中一個實施例中，控制指令為停止指令、報警指令或將不良基板傳送至不良基板存放處的指令，使檢測基板的效果更好。
[0044]步驟S170，接收指令并執行相應操作。
[0045]具體地，本實施例中，基板加工設備110根據控制模塊122的指令執行相應操作，比如停機、報警、將不良基板傳送至不良基板存放處，及時停止當前的不良基板加工工作，更換基板，提尚效率。
[0046]上述基板檢測方法，在真空腔室內加工基板的同時，能夠對基板的狀態進行實時檢測。一旦檢測到不良基板，比如基板存在裂紋或破損，便能發出相應指令，控制設備做出相應的動作，這樣可以及時發現不良基板，并及時執行相應操作，從而可以及時避免造成不必要的浪費及損失。
[0047]以上所述實施例的各技術特征可以進行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實施例中的各個技術特征所有可能的組合都進行描述，然而，只要這些技術特征的組合不存在矛盾，都應當認為是本說明書記載的范圍。
[0048]以上所述實施例僅表達了本發明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對發明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發明的保護范圍。因此，本發明專利的保護范圍應以所附權利要求為準。
【主權項】
1.一種基板加工系統，用于加工基板，其特征在于，包括基板加工設備和基板檢測裝置； 所述基板加工設備包括真空腔室，所述基板加工設備用于在所述真空腔室內加工所述基板； 所述基板檢測裝置包括圖像傳感器和控制模塊，所述圖像傳感器設置于所述真空腔室內，所述圖像傳感器用于檢測并反饋所述基板的狀態;所述控制模塊與所述圖像傳感器、所述基板加工設備連接，所述控制模塊用于控制所述圖像傳感器的工作，所述控制模塊還用于根據反饋的所述基板的狀態控制所述基板加工設備的工作。2.根據權利要求1所述的基板加工系統，其特征在于，所述基板的狀態包括所述基板的基本信息、完整度信息或圖形信息;所述基本信息包括條形碼、編號或功能;所述完整度信息包括裂紋情況或破損情況;所述圖形信息包括所述基板的形狀或所述基板上的圖案。3.根據權利要求1所述的基板加工系統，其特征在于，所述控制模塊能夠自動記錄所述基板的狀態和所述基板加工設備的工作狀態。4.根據權利要求1所述的基板加工系統，其特征在于，還包括暫存腔室，所述基板加工設備將所述圖像傳感器檢測到的不良的所述基板傳送至所述暫存腔室，所述暫存腔室用于存放不良的所述基板。5.根據權利要求1所述的基板加工系統，其特征在于，還包括中央控制器，所述中央控制器與所述基板檢測裝置和所述基板加工設備連接，所述中央控制器用于控制所述基板檢測裝置和所述基板加工設備的工作。6.根據權利要求5所述的基板加工系統，其特征在于，所述中央控制器與所述圖像傳感器連接，所述圖像傳感器能夠將所述基板的狀態上傳至所述中央控制器，所述中央控制器用于根據所述基板的狀態控制所述基板加工系統的工作。7.根據權利要求5所述的基板加工系統，其特征在于，所述中央控制器與所述控制模塊連接，所述控制模塊能夠將獲得的信息上傳至所述中央控制器，所述中央控制器用于控制所述控制模塊的工作。8.根據權利要求1所述的基板加工系統，其特征在于，還包括監控器，設置于所述真空腔室外部，所述監控器的輸入端與所述圖像傳感器的輸出端連接，所述監控器用于接收并顯示所述圖像傳感器檢測到的所述基板的狀態。9.一種基板檢測方法，用于檢測被加工的基板，其特征在于，包括步驟: 檢測所述基板的狀態； 判斷所述基板是否為不良基板，若是，則發送不良基板信號； 根據所述不良基板信號發出指令； 接收所述指令并執行相應操作。10.根據權利要求9所述的基板檢測方法，其特征在于，所述指令為停止指令、報警指令或將所述不良基板傳送至不良基板存放處的指令。
【文檔編號】H01L21/66GK106067477SQ201610474681
【公開日】2016年11月2日
【申請日】2016年6月27日 公開號201610474681.4, CN 106067477 A, CN 106067477A, CN 201610474681, CN-A-106067477, CN106067477 A, CN106067477A, CN201610474681, CN201610474681.4
【發明人】吳貴斌
【申請人】昆山國顯光電有限公司