本發明屬于校準技術領域，具體涉及一種用于聲表面波濾波器測試的校準件及其校準方法。

背景技術：

聲表面波濾波器以其優異的性能，廣泛應用于移動通訊、導航、無線數據傳輸、電子視聽等領域，每年市場需求幾億只，聲表面波濾波器出廠之前需要進行高低溫(-55℃～+125℃)測試和篩選。進行測試和篩選的測試系統框圖如圖1所示。

目前批量聲表面波濾波器進行出廠前的高低溫測試和篩選，使用了可批量裝夾濾波器的夾具，如圖1所示，每個夾具裝夾4只聲表面波濾波器，共70個夾具，實現280只聲表面波濾波器的測試和篩選。

為對引腳為表面貼裝的聲表面波濾波器進行測試，夾具中設計有測試探針，實現聲表面波濾波器與通用測量儀器的連接。但測試探針的引入，不可避免帶來了測試誤差，只有在測試探針端面上進行測試校準和誤差修正才能獲得較高精度。

目前由于缺乏針對夾具參考面和測試通道的校準手段，校準只停留在對測試儀器端口的校準上，無法將測試通道和夾具參考面納入校準范疇。

技術實現要素：

針對現有技術中存在的上述技術問題，本發明提出了一種用于聲表面波濾波器測試的校準件及其校準方法，設計合理，克服了現有技術的不足，具有良好的效果。

為了實現上述目的，本發明采用如下技術方案：

一種用于聲表面波濾波器高低溫測試的校準件，包括直通校準件、開路校準件和負載校準件；

直通校準件，包括線路板、多個smb連接器子頭以及微帶線，smb連接器子頭對稱分布于線路板的兩側，對稱分布的smb連接器子頭通過微帶線連接；

開路校準件，包括線路板、多個smb連接器子頭以及微帶線，smb連接器子頭對稱分布于線路板的兩側；微帶線使對稱分布的smb連接器子頭處于開路狀態；

負載校準件，包括線路板、多個smb連接器子頭、微帶線以及負載，smb連接器子頭對稱分布于線路板的兩側，負載焊接在微帶線上。

優選地，所述線路板由fr-4材料制成。

此外，本發明還提到一種用于聲表面波濾波器高低溫測試的校準方法，該方法采用如上所述的一種用于聲表面波濾波器高低溫測試的校準件，包括如下步驟：

步驟1：設置高低溫箱內的溫度；

步驟2：將校準件插入到夾具座上，并向電腦中輸入該校準件的實際校準參數；

步驟3：運行校準程序；

步驟4：改變高低溫箱內的溫度以及校準件，重復步驟1-步驟3；

步驟5：完成該項校準。

本發明所帶來的有益技術效果：

本發明使用耐高低溫的fr-4板材作為校準件的承載材料，實現高低溫環境下的校準；本發明校準方法可實現大批量聲表面波濾波器測試系統的通道和夾具參考面的校準，最大限度排除環境、電氣干擾等影響，減小聲表面波濾波器的測量誤差；將溫度變化引入校準考量，實現了聲表面波濾波器在-55℃～+125℃溫度范圍內的校準，提高了測量精度。

附圖說明

圖1為聲表面波濾波器測試和篩選測試系統框圖。

圖2為夾具體的結構示意圖。

圖3為蓋板的結構示意圖。

圖4為夾具座的結構示意圖。

圖5為直通校準件的結構示意圖。

圖6為開路校準件的結構示意圖。

圖7為負載校準件的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖以及具體實施方式對本發明作進一步詳細說明：

聲表面波濾波器的主要測量儀器為矢量網絡分析儀，所以本發明中聲表面波濾波器夾具的校準方案采用針對微帶線的trl校準法，對于每一種規格的夾具，采用一個直通校準件、一個開路校準件和一個負載校準件，用矢量網絡分析儀實現對測試所需定義的夾具參考面、整個測試通道進行校準，以確保整個高低溫測試系統的測量精度。

聲表面波濾波器夾具如圖2～4所示，包括夾具體和夾具座兩個部分，單個夾具體可裝夾4只聲表面波濾波器，多個夾具座擴展連接后，可以插接70個夾具體，實現裝夾280只聲表面波濾波器；測試電纜由夾具座引出到高低溫箱外部。

夾具體中，每個測試槽位，包含輸入、輸出底部測試探針各一根。

校準參考面分別為輸入測試針及輸出測試針所在的位置；校準采用間接校準法，即用與夾具體的外形尺寸及接頭相同、但內部為微帶傳輸線構成的校準件。

對應每種規格的夾具，共有三套校準件：直通校準件、開路校準件和負載校準件。

直通校準件，如圖5所示，微帶線從一個測試端短接到另外一個測試端。

開路校準件，如圖6所示，設計微帶線，使兩個測試端處于開路狀態。

負載校準件，如圖7所示。

校準時，在高低溫箱內溫度分別為-55℃、25℃(室溫)、125℃條件下，針對測試通道和夾具，在測試儀器的內置校準軟件或系統主控電腦的內置校準軟件提示下，將相應的校準件代替夾具體插入到夾具座上，輸入該校準件的實際相位參數，運行校準程序后，即完成該項校準，校準參數自動保持在測試儀器或主控電腦中。實際測試時，根據不同的溫度條件、不同規格的夾具，調用相應的校準參數。

當然，上述說明并非是對本發明的限制，本發明也并不僅限于上述舉例，本技術領域的技術人員在本發明的實質范圍內所做出的變化、改型、添加或替換，也應屬于本發明的保護范圍。

技術特征：

技術總結
本發明公開了一種用于聲表面波濾波器測試的校準件及其校準方法，屬于校準技術領域。本發明使用耐高低溫的FR?4板材作為校準件的承載材料，實現高低溫環境下的校準；本發明校準方法可實現大批量聲表面波濾波器測試系統的通道和夾具參考面的校準，最大限度排除環境、電氣干擾等影響，減小聲表面波濾波器的測量誤差；將溫度變化引入校準考量，實現了聲表面波濾波器在?55℃～+125℃溫度范圍內的校準，提高了測量精度。

技術研發人員：薛沛祥;喬宏志
受保護的技術使用者：中國電子科技集團公司第四十一研究所
技術研發日：2017.05.24
技術公布日：2017.09.29