本發明涉及光學，具體涉及一種深紫外雙波段可變na檢測物鏡及方法。
背景技術：
1、在半導體芯片的生產制造中，微小的缺陷帶來的影響是最為致命的，它直接影響生產的良率，并且增加生產成本，所以對缺陷的檢測就至關重要。隨著半導體器件的不斷減小，對微小缺陷的檢測要求也逐漸提高。眾所周知，光學顯微系統的分辨率可用0.61/na來計算，所以要提高系統分辨率，檢測更微小的缺陷，需要通過縮短波長或增大數值孔徑等途徑來實現。另一方面，不同缺陷對不同波長的響應是不同的，多個波長檢測能夠更好地發現微小的不同種類的缺陷。
2、而在深紫外波段可用光學材料較少，所以一般光學鏡頭都是深紫外單波長工作，當需要更換波長檢測時就需要相應地更換物鏡，這樣不但增加了設備成本，使設備更加復雜化，又引入了在鏡頭切換時帶來的諸多位置誤差因素，影響檢測結果。
技術實現思路
1、因此，本發明要解決的技術問題在于克服現有技術中的缺陷，從而提供一種深紫外雙波段可變na檢測物鏡及方法。
2、一種深紫外雙波段可變na檢測物鏡，包括：補償鏡組、切換鏡組和固定鏡組，所述補償鏡組、切換鏡組和固定鏡組從物面起沿光軸方向依次設置，補償鏡組和切換鏡組均具有正光焦度，固定鏡組具有負光焦度，檢測物鏡還包括孔徑可變光闌，孔徑可變光闌設置在補償鏡組和切換鏡組之間，補償鏡組、切換鏡組和孔徑可變光闌均沿著光軸滑動設置，檢測物鏡的波長范圍為190nm~280nm，物面的直徑為2mm。
3、進一步地，所述檢測物鏡數值孔徑na的可變區間為0.05~0.66。
4、進一步地，所述補償鏡組包括沿光軸方向依次設置的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡和第五透鏡，第一透鏡為平凹透鏡，第二透鏡、第三透鏡和第四透鏡均為彎月透鏡，第五透鏡為雙凸透鏡。
5、進一步地，所述切換鏡組包括沿光軸方向依次設置的第六透鏡、第七透鏡、第八透鏡、第九透鏡和第十透鏡，第六透鏡和第十透鏡均為彎月透鏡，第七透鏡、第八透鏡和第九透鏡均為雙凸透鏡。
6、進一步地，所述固定鏡組包括沿光軸方向依次設置的第十一透鏡、第十二透鏡、第十三透鏡和第十四透鏡，第十一透鏡、第十二透鏡和第十四透鏡均為彎月透鏡，第十三透鏡為雙凹透鏡。
7、進一步地，所述第二透鏡、第三透鏡和第四透鏡的彎月方向均朝向物面，第一透鏡具有負光焦度，第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡和第五透鏡均具有正光焦度。
8、進一步地，所述第六透鏡、第七透鏡、第八透鏡和第九透鏡均具有正光焦度，第十透鏡具有負光焦度。
9、進一步地，所述第十一透鏡和第十二透鏡均具有正光焦度，第十三透鏡和第十四透鏡均具有負光焦度。
10、進一步地，所述第一透鏡靠近物面的透鏡表面為平面，第一透鏡遠離物面的透鏡表面為球面。
11、本發明還包括一種檢測物鏡的深紫外雙波段切換及na可變方法，該方法是基于上述任一項所述的一種深紫外雙波段可變na檢測物鏡所實現的，平行光從固定鏡組入射，依次經過切換鏡組、孔徑可變光闌和補償鏡組，最終匯聚在物面，通過將補償鏡組、孔徑可變光闌和切換鏡組同時向靠近固定鏡組的一側移動，實現深紫外雙波段切換，通過調節孔徑可變光闌的孔徑大小改變檢測物鏡的數值孔徑na。
12、本發明技術方案，具有如下優點：
13、本發明提供的技術方案中，通過采用波長更短的深紫外波長，波長范圍可在190nm~280nm中任選，具有更高的分辨率，而且通過沿著光軸滑動補償鏡組、切換鏡組和孔徑可變光闌，實現同一個物鏡不同波段的選擇，無需對物鏡進行更換，提高了對不同制造缺陷的檢測精度與發現幾率，而且單物鏡的雙波段切換，在不同波長切換后系統無需再次對焦，操作便捷，提高了工作效率，簡化設備結構，直徑為2mm的物面使得物鏡具有較大的成像靶面，有利于提高檢測精度，通過改變孔徑可變光闌的孔徑大小改變檢測物鏡的數值孔徑na，實現在不同波段不同na的多模式工作，使得檢測物鏡的應用范圍更加廣泛。
1.一種深紫外雙波段可變na檢測物鏡，包括：補償鏡組、切換鏡組和固定鏡組，其特征在于，所述補償鏡組、切換鏡組和固定鏡組從物面（16）起沿光軸方向依次設置，補償鏡組和切換鏡組均具有正光焦度，固定鏡組具有負光焦度，檢測物鏡還包括孔徑可變光闌（6），孔徑可變光闌（6）設置在補償鏡組和切換鏡組之間，補償鏡組、切換鏡組和孔徑可變光闌（6）均沿著光軸滑動設置，檢測物鏡的波長范圍為190nm~280nm，物面（16）的直徑為2mm。
2.根據權利要求1所述的一種深紫外雙波段可變na檢測物鏡，其特征在于，所述檢測物鏡數值孔徑na的可變區間為0.05~0.66。
3.根據權利要求1所述的一種深紫外雙波段可變na檢測物鏡，其特征在于，所述補償鏡組包括沿光軸方向依次設置的第一透鏡（1）、第二透鏡（2）、第三透鏡（3）、第四透鏡（4）和第五透鏡（5），第一透鏡（1）為平凹透鏡，第二透鏡（2）、第三透鏡（3）和第四透鏡（4）均為彎月透鏡，第五透鏡（5）為雙凸透鏡。
4.根據權利要求1所述的一種深紫外雙波段可變na檢測物鏡，其特征在于，所述切換鏡組包括沿光軸方向依次設置的第六透鏡（7）、第七透鏡（8）、第八透鏡（9）、第九透鏡（10）和第十透鏡（11），第六透鏡（7）和第十透鏡（11）均為彎月透鏡，第七透鏡（8）、第八透鏡（9）和第九透鏡（10）均為雙凸透鏡。
5.根據權利要求1所述的一種深紫外雙波段可變na檢測物鏡，其特征在于，所述固定鏡組包括沿光軸方向依次設置的第十一透鏡（12）、第十二透鏡（13）、第十三透鏡（14）和第十四透鏡（15），第十一透鏡（12）、第十二透鏡（13）和第十四透鏡（15）均為彎月透鏡，第十三透鏡（14）為雙凹透鏡。
6.根據權利要求3所述的一種深紫外雙波段可變na檢測物鏡，其特征在于，所述第二透鏡（2）、第三透鏡（3）和第四透鏡（4）的彎月方向均朝向物面（16），第一透鏡（1）具有負光焦度，第二透鏡（2）、第三透鏡（3）、第四透鏡（4）和第五透鏡（5）均具有正光焦度。
7.根據權利要求4所述的一種深紫外雙波段可變na檢測物鏡，其特征在于，所述第六透鏡（7）、第七透鏡（8）、第八透鏡（9）和第九透鏡（10）均具有正光焦度，第十透鏡（11）具有負光焦度。
8.根據權利要求5所述的一種深紫外雙波段可變na檢測物鏡，其特征在于，所述第十一透鏡（12）和第十二透鏡（13）均具有正光焦度，第十三透鏡（14）和第十四透鏡（15）均具有負光焦度。
9.根據權利要求3所述的一種深紫外雙波段可變na檢測物鏡，其特征在于，所述第一透鏡（1）靠近物面（16）的透鏡表面為平面，第一透鏡（1）遠離物面（16）的透鏡表面為球面。
10.一種檢測物鏡的深紫外雙波段切換及na可變方法，該方法是基于權利要求1~9任一項所述的一種深紫外雙波段可變na檢測物鏡所實現的，其特征在于，平行光從固定鏡組入射，依次經過切換鏡組、孔徑可變光闌（6）和補償鏡組，最終匯聚在物面（16），通過將補償鏡組、孔徑可變光闌（6）和切換鏡組同時向靠近固定鏡組的一側移動，實現深紫外雙波段切換，通過調節孔徑可變光闌（6）的孔徑大小改變檢測物鏡的數值孔徑na。