本申請屬于半導體制造裝備，具體涉及一種桌面式光刻機升降機構，用于在曝光工藝過程中，平穩精準控制基片臺的升降。
背景技術：
1、光刻技術作為半導體制造生產領域的核心技術，其精度和穩定性直接決定了器件的性能和質量。在半導體器件的制造過程中，光刻工藝用于在工件表面上光刻特征圖形、處理印刷電路板防焊油墨以及實現多層電路板之間電氣互連的打孔處理等。傳統的光刻技術需要制作掩膜的母版進行曝光操作，存在制作周期長、圖形單一、應用范圍有限等問題。隨著技術進步，直寫光刻技術逐漸發展成為重要加工方向，但其核心工作臺升降系統的性能仍是影響整體設備精度的關鍵因素。
2、在桌面式光刻機這種結構緊湊的設備中，升降系統面臨更多挑戰：需要同時滿足高精度、高穩定性、小尺寸等多重要求。現有技術中，工作臺的平行度調節也是一個技術難點，如何保證上臺面板上的掩模板與下臺面板上的晶圓平行，直接影響光刻精度。此外，傳統的升降式光刻機工作臺難以與傳送帶有效結合，限制了pcb板以流水線方式進行連續光刻加工，影響了生產效率。
3、因此，開發一種適用于桌面式光刻機的高穩定、高精度升降結構，解決現有技術中存在的穩定性不足、精度有限、壽命短等問題，成為本領域亟待解決的技術難題。
技術實現思路
1、本申請旨在解決現有桌面式光刻機升降系統中存在的缺陷，包括：升降穩定性不足，導致基片臺在曝光過程中易產生振動或偏移，影響光刻精度；升降精度有限，難以滿足納米級光刻或高分辨率圖形的要求；裝置壽命短，由于結構剛性不足或磨損，需頻繁維護；以及工作臺平行度調節困難，難以保證掩模板與晶圓間的平行性；此外，傳統裝置難以與傳送帶集成，限制了連續生產效率。本申請提供了一種桌面式光刻機升降機構，克服上述問題，實現平穩、精準、耐用的升降控制。
2、本申請的目的通過下述技術方案來實現：
3、一種桌面式光刻機升降機構，包括升降主架，升降主架的外周通過滾珠保持架組件設有旋轉支撐板，升降主架的中心通過軸承組件設有絲桿主軸，升降主架的下部設有與絲桿主軸連接的驅動組件，升降主架的上部與旋轉固定板連接，旋轉固定板上通過外周布置的若干光軸組件設有升降底板，升降底板的中心通過絲桿結構與絲桿主軸螺紋配合。
4、進一步的，所述的滾珠保持架組件包括軸向滾珠保持架和徑向滾珠保持架，軸向滾珠保持架設在旋轉支撐板軸向的兩側，徑向滾珠保持架設在升降主架的外周與旋轉支撐板的內周。
5、進一步的，所述的滾珠保持架組件還包括鎖緊套圈和鎖緊塊，鎖緊套圈套設在升降主架的外周并位于旋轉支撐板的下方，旋轉支撐板與旋轉固定板之間以及旋轉支撐板與鎖緊套圈之間均設有軸向滾珠保持架，鎖緊塊螺接在升降主架的外周并位于鎖緊套圈的下方。
6、進一步的，所述的驅動組件包括伺服電機和聯軸器，伺服電機固定在升降主架的下部，伺服電機的輸出軸通過聯軸器與絲桿主軸連接。
7、進一步的，所述的軸承組件包括軸承擋圈、軸承和軸承隔圈，至少兩個軸承設在絲桿主軸與升降主架之間，相鄰兩個軸承之間設有軸承隔圈，軸承擋圈螺接在絲桿主軸上并位于最下部軸承的下方。
8、進一步的，所述的光軸組件設有三個并沿外周均勻布置。
9、進一步的，所述的光軸組件包括光軸軸承和光軸，光軸軸承設在升降底板上，光軸軸承豎向套設在光軸上，光軸設在旋轉固定板上。
10、進一步的，所述的絲桿結構包括絲桿套，絲桿套位于升降底板的中部并與絲桿主軸的螺紋部螺紋配合，
11、進一步的，所述的絲桿結構還包括桿套壓塊，絲桿套夾設在升降底板與桿套壓塊之間，升降底板、絲桿套和桿套壓塊通過螺栓連接為一體。
12、進一步的，所述的旋轉支撐板設在安裝板組件上。
13、本申請的有益效果：提供了一種模塊化、高剛性的精密升降裝置，該裝置采用分層及對稱布局的核心設計思想，以確保整體穩定性。
14、前述本申請主方案及其各進一步選擇方案可以自由組合以形成多個方案，均為本申請可采用并要求保護的方案；并且本申請，（各非沖突選擇）選擇之間以及和其他選擇之間也可以自由組合。本領域技術人員在了解本方案后根據現有技術和公知常識可明了有多種組合，均為本申請所要保護的技術方案，在此不做窮舉。
1.一種桌面式光刻機升降機構，包括升降主架（10），其特征在于：所述的升降主架（10）的外周通過滾珠保持架組件設有旋轉支撐板（6），升降主架（10）的中心通過軸承組件設有絲桿主軸（1），升降主架（10）的下部設有與絲桿主軸（1）連接的驅動組件，升降主架（10）的上部與旋轉固定板（4）連接，旋轉固定板（4）上通過外周布置的若干光軸組件設有升降底板（3），升降底板（3）的中心通過絲桿結構與絲桿主軸（1）螺紋配合。
2.根據權利要求1所述的桌面式光刻機升降機構，其特征在于：所述的滾珠保持架組件包括軸向滾珠保持架（5）和徑向滾珠保持架（7），軸向滾珠保持架（5）設在旋轉支撐板（6）軸向的兩側，徑向滾珠保持架（7）設在升降主架（10）的外周與旋轉支撐板（6）的內周。
3.根據權利要求2所述的桌面式光刻機升降機構，其特征在于：所述的滾珠保持架組件還包括鎖緊套圈（8）和鎖緊塊（9），鎖緊套圈（8）套設在升降主架（10）的外周并位于旋轉支撐板（6）的下方，旋轉支撐板（6）與旋轉固定板（4）之間以及旋轉支撐板（6）與鎖緊套圈（8）之間均設有軸向滾珠保持架（5），鎖緊塊（9）螺接在升降主架（10）的外周并位于鎖緊套圈（8）的下方。
4.根據權利要求1所述的桌面式光刻機升降機構，其特征在于：所述的驅動組件包括伺服電機（11）和聯軸器（12），伺服電機（11）固定在升降主架（10）的下部，伺服電機（11）的輸出軸通過聯軸器（12）與絲桿主軸（1）連接。
5.根據權利要求1所述的桌面式光刻機升降機構，其特征在于：所述的軸承組件包括軸承擋圈（13）、軸承（14）和軸承隔圈（15），至少兩個軸承（14）設在絲桿主軸（1）與升降主架（10）之間，相鄰兩個軸承（14）之間設有軸承隔圈（15），軸承擋圈（13）螺接在絲桿主軸（1）上并位于最下部軸承（14）的下方。
6.根據權利要求1所述的桌面式光刻機升降機構，其特征在于：所述的光軸組件設有三個并沿外周均勻布置。
7.根據權利要求1或6所述的桌面式光刻機升降機構，其特征在于：所述的光軸組件包括光軸軸承（16）和光軸（17），光軸軸承（16）設在升降底板（3）上，光軸軸承（16）豎向套設在光軸（17）上，光軸（17）設在旋轉固定板（4）上。
8.根據權利要求1所述的桌面式光刻機升降機構，其特征在于：所述的絲桿結構包括絲桿套（2），絲桿套（2）位于升降底板（3）的中部并與絲桿主軸（1）的螺紋部螺紋配合。
9.根據權利要求8所述的桌面式光刻機升降機構，其特征在于：所述的絲桿結構還包括桿套壓塊（18），絲桿套（2）夾設在升降底板（3）與桿套壓塊（18）之間，升降底板（3）、絲桿套（2）和桿套壓塊（18）通過螺栓連接為一體。
10.根據權利要求1所述的桌面式光刻機升降機構，其特征在于：所述的旋轉支撐板（6）設在安裝板組件（19）上。