專利名稱：壓電振動片和壓電器件以及陀螺儀傳感器的制作方法
技術領域：
本發明涉及收容于封裝內或外殼內的壓電振動片和將該壓電振動片收容于封裝內或外殼內的壓電器件以及陀螺儀傳感器。
背景技術：
在包括HDD(硬盤驅動器)、便攜式計算機或IC卡等小型信息設備，包括移動電話、汽車電話或尋呼系統等移動體通信設備，或陀螺儀傳感器等測量設備中，廣泛使用將壓電振動片收容在封裝等的內部的壓電振子和壓電振蕩器等壓電器件。
圖13是將在這樣的壓電器件中所使用的壓電振動片的熟知結構例(參照專利文獻1)進行了簡化而示出的概略俯視圖。
在圖中，壓電振動片1由例如石英單晶形成，具有寬度較寬的基部2和從該基部2沿相同方向平行延伸的2條振動臂3、4。圖14是圖13的沿A—A線切斷的端面圖，在振動臂3、4上，分別在表面和背面形成在長度方向上延伸的長槽5、6。在該長槽5、6中，形成未圖示的作為驅動電極的激勵電極。
由此，通過從外部向激勵電極施加驅動電壓，在振動臂3、4內高效地產生電場，各振動臂3、4進行彎曲振動使得其前端部如圖13所示那樣相互接近/分離。并且，通過抽取基于這種振動的振動頻率，可將其用于控制用的時鐘信號等基準信號中。
該壓電振動片1的各振動臂3、4以及這些振動臂3、4的長槽5、6是通過對由晶片狀壓電材料形成的基板進行刻蝕而形成的。即，一般情況下，首先對晶片基板進行刻蝕，形成圖13那樣的音叉狀的外形，然后通過半刻蝕(half etching)形成圖14中所說明的長槽5、6。
特開2002-76806
然而，在這樣的壓電振動片1中，在其外形刻蝕工序中的濕法刻蝕中，刻蝕的進行速度在圖12、圖13所示的電學軸X、機械軸Y、光學軸Z上出現差異，由于這種刻蝕的各向異性，使得不能在長槽5、6內形成平坦的底面。
其結果是，例如如果觀察振動臂3，則發現其夾著長槽5的兩側壁部的厚度在左右兩邊不同，其結果是，振動臂3的位于圖14所示的假想中心線CE的左右的側壁部的剛性不同。即，左側壁部的剛性高，右側壁部的剛性比左側低。
因此，在如圖12所示各振動臂3、4進行彎曲振動的狀態下，因為在水平方向上向左右彎曲時的變形度各不相同，所以左右振動臂3、4的彎曲平衡被打破。這樣，因各振動壁3、4的變形而傳遞到基部2的應力F1、F2也不均衡，因而不能消除，成為Z方向位移或Y方向位移的原因，認為會導致CI(晶體阻抗)值的增大。

發明內容
本發明的目的是提供能夠改善振動平衡、將CI值抑制得較低的壓電振動片和壓電器件以及陀螺儀傳感器。
按照本發明的第一方面，上述目的通過下述壓電振動片來實現，該壓電振動片具有由壓電材料形成的基部；至少一對振動臂，其與該基部一體地形成，并且從上述基部平行地延伸；形成于上述各振動臂上并且在長度方向上延伸的長槽以及在長槽中形成的驅動用電極，在上述各振動臂上具有調整結構，用于調整各振動臂的相對于沿其長度方向延伸的假想中心線而言為左右的結構的剛性平衡。
按照本發明第一方面的結構，本發明的壓電振動片的振動臂具有調整結構，用于調整各振動臂的相對于沿其長度方向延伸的假想中心線而言為左右的結構的剛性平衡，從而消除或降低了向不需要的方向的位移分量，所以進行彎曲振動時的振動平衡變得穩定，可以將CI值抑制得較低。
本發明的第二方面的特征在于，在本發明的第一方面的結構中，在上述各振動臂的安裝根部，上述振動臂的臂寬在上述基部側較大，并形成朝著前端側而寬度急劇收縮的寬度收縮部，作為上述調整結構，其相對于上述假想中心線為右側的寬度收縮部形成得比左側的寬度收縮部大。
根據本發明的第二部分的結構，在通過濕法刻蝕形成振動臂的長槽時，由于刻蝕各向異性，注目于該長槽的壁部所產生的左右厚度的差異，特別是在振動臂進行彎曲振動時應變最集中的安裝根部，通過將右側的寬度收縮部形成得較大，可以改善因長槽的右側的壁部較薄而引起的剛性平衡的不良。
本發明的第三方面的特征在于，在本發明的第一方面的結構中，上述調整結構形成于上述各振動臂的安裝根部，作為上述調整結構，上述長槽被形成為其相對于上述假想中心線為右側的壁部的厚度比左側的壁部的厚度大。
按照本發明的第三方面的結構，在通過濕法刻蝕形成振動臂的長槽時，由于刻蝕各向異性，注目于該長槽的壁部所產生的左右厚度的差異，特別是在振動臂進行彎曲振動時應變最集中的安裝根部，通過有意地使上述長槽的右側的壁部比左側的壁部厚，在整個長槽中，可以改善因右側的壁部較薄而引起的剛性平衡的不良。
本發明的第四方面的特征在于，在本發明的第一部分的結構中，上述調整結構形成于上述各振動臂的前端部，作為上述調整結構，在上述振動臂的前端部，相對于上述假想中心線為左側的部分形成得比右側的部分大。
按照本發明的第四方面的結構，在通過濕法刻蝕形成振動臂的長槽時，由于刻蝕各向異性，注目于該長槽的壁部所產生的左右厚度的差異，在上述振動臂的前端部，通過使其相對于上述假想中心線為左側的部分形成得比右側的部分大，在整個長槽中，可以改善因右側的壁部較薄而引起的剛性平衡的不良。
另外，在本發明的第五部分中，上述目的通過下述壓電器件來實現，這是在收容容器內收容有壓電振動片的壓電器件，上述壓電振動片具有由壓電材料形成的基部；至少一對振動臂，其與該基部一體地形成，并且從上述基部平行地延伸；形成于上述各振動臂上并且在長度方向上延伸的長槽以及在長槽中形成的驅動用電極，在上述各振動臂上具有調整結構，用于調整各振動臂的相對于沿其長度方向延伸的假想中心線而言為左右的結構的剛性平衡。
按照本發明的第五方面的結構，利用與本發明的第一方面相同的原理，可以使所裝載的壓電振動片的振動臂進行彎曲振動時的振動平衡變得穩定，將壓電器件的CI值抑制得較低。
另外，在本發明的第六部分中，上述目的通過下述陀螺儀來實現，該陀螺儀具有由壓電材料形成的基部；至少一對以上的振動臂，其與該基部一體地形成，并且從上述基部平行地延伸，上述陀螺儀還具有形成于上述各振動臂上并且在長度方向上延伸的長槽；以及在該長槽中形成的驅動用電極，在上述各振動臂上具有調整結構，用于調整各振動臂的相對于沿其長度方向延伸的假想中心線而言為左右的結構的剛性平衡。
按照本發明的第六方面的結構，利用與在本發明的第一部分中說明過的原理相同的原理，可以提供能改善振動平衡、將CI值抑制得較低的陀螺儀傳感器。


圖1是本發明的實施方式的壓電器件的概略俯視圖。
圖2是圖1的壓電器件沿B-B線的概略截面圖。
圖3是圖1的壓電器件中所使用的第1實施方式的壓電振動片的概略俯視圖。
圖4是圖3的壓電振動片沿C-C線切斷的端面圖。
圖5是圖3的壓電振動片的主要部分放大圖。
圖6是在本發明中不包括的壓電振動片的參考例中，振動臂進行彎曲振動時的振動位移的模擬的矢量圖。
圖7是在第1實施方式的壓電振動片中，振動臂進行彎曲振動時的振動位移的模擬的矢量圖。
圖8是第2實施方式的壓電振動片的主要部分放大圖。
圖9是在第2實施方式的壓電振動片中，振動臂進行彎曲振動時的振動位移的模擬的矢量圖。
圖10是第3實施方式的壓電振動片的主要部分放大圖。
圖11是在第3實施方式的壓電振動片中，振動臂進行彎曲振動時的振動位移的模擬的矢量圖。
圖12是第4實施方式的陀螺儀傳感器的概略俯視圖。
圖13是現有的壓電振動片的概略俯視圖。
圖14是圖13的沿A-A線切斷的端面圖。
其中，30壓電器件；36封裝；32壓電振動片；34、35振動臂；51基部；54、55激勵電極；56、57長槽；61通常的寬度收縮部；62大型的寬度收縮部；80陀螺儀傳感器。
具體實施例方式
圖1和圖2表示本發明的壓電器件的第1實施方式，圖1是其概略俯視圖，圖2是圖1沿B-B線的概略截面圖。
在圖中，示出了壓電器件30構成石英振子的示例，該壓電器件30在作為收容容器的封裝36內收容有壓電振動片32。例如將使作為絕緣材料的氧化鋁材質的陶瓷生片(crematic green sheet)成形而形成的多個基板進行層疊，之后進行燒結而形成封裝36。各多個基板通過在其內側形成規定的孔，在層疊的情況下在內側形成規定的內部空間S2。該內部可空間S2是用于收容壓電振動片32的收容空間。
在該封裝36的內部裝配壓電振動片32，利用蓋體39氣密性地進行密封。這里，選擇陶瓷、金屬、玻璃等材質來形成蓋體39。
在蓋體39例如為金屬的情況下，一般具有強度比其它的材料高的優點。與封裝36的熱膨脹率近似的材料均適合，例如，可以使用科瓦鐵鎳鈷合金等。
另外，為了在蓋密封后能進行頻率調整，蓋體39例如由玻璃等透光性材料形成。例如，可以使用硼硅酸玻璃等板材。
在封裝36的內部空間S2內的圖中的左端部附近，在內部空間S2中露出以構成內側底部的層疊基板上，設置了通過例如在鎢金屬化上鍍鎳和鍍金而形成的電極部31、31。該電極部31、31與外部連接，用于供給驅動電壓。在該各電極部31、31上涂敷導電性粘結劑43、43，在該導電性粘結劑43、43上安置壓電振動片32的基部51，使導電性粘結劑43、43固化。并且，作為導電性粘結劑43、43，可以使用在作為發揮結合力的粘結劑成分的合成樹脂劑中含有銀制的微粒等導電性顆粒的物質，可以利用硅酮系、環氧系或聚酰亞胺系導電性粘結劑等。
壓電振動片32通過對作為壓電材料的例如石英進行刻蝕而形成，在本實施方式的情況下，為了使壓電振動片32形成為小型且獲得必要的性能，特別使其具有圖3的概略俯視圖和圖4所示的沿圖3的C-C線切斷的端面圖所示的結構。
即，壓電振動片32利用所謂的音叉型壓電振動片，該音叉型壓電振動片整體為音叉那樣的形狀，具有基部51和一對振動臂34、35，上述基部51與封裝36側固定，上述一對振動臂34、35以該基部51為基端，分成2股向著圖中的上方平行地延伸。
在壓電振動片32的各振動臂34、35上，如參照圖3和圖4所理解的那樣，分別形成在長度方向上延伸的長的有底的長槽56、57。該各長槽56、57如作為圖3的沿C-C線切斷的端面圖的圖4所示那樣，形成于各振動臂34、35的表面和背面兩面。
并且，在圖3中，在壓電振動片32的基部51的端部(在圖3中為下端部)的寬度方向兩端附近，形成有引出電極52、53。在壓電振動片32的基部51的未圖示的背面也同樣地形成有各引出電極52、53。
這些各引出電極52、53是通過如上所述圖1所示的封裝側的電極部31、31與導電性粘結劑而被連接的部分。并且，各引出電極52、53如圖3和圖4所示，分別與設置在各振動臂34、35的長槽56、57內的激勵電極54、55連接成一體。另外，各激勵電極54、55也如圖4所示那樣在各振動臂34、35的兩側面上形成，例如，關于振動臂34，使長槽56內的激勵電極54和其側面部的激勵電極55為互不相同的電極。另外，關于振動臂35，使長槽57內的激勵電極55和其側面部的激勵電極54為互不相同的電極。
在壓電振動片32的基部51與振動臂34、35之間，可以設置在基部51的寬度方向收縮而設置的缺口部或縮頸部(未圖示)。
由此，可以防止壓電振動片32的振動泄漏到基部51側，以降低CI(晶體阻抗)值。
并且，壓電振動片32整體形成得非常小型，在圖3中，是例如全長為1300μm左右、振動臂的長度為1040μm左右、臂寬為40μm～55μm左右的極其小型的壓電振動片。
并且，如圖5的局部放大圖所進一步詳細地示出那樣，在振動臂34、35的安裝根部，即基部51的前端51a附近，各振動臂34、35的臂寬在基部51側較大，形成向著各振動臂34、35的前端側寬度急劇收縮的寬度收縮部61、62。寬度收縮部61、62是在振動臂的安裝根部擴大的鰭狀部分。具體來說，寬度收縮部61是使一片在基部51的前端，相鄰的另一片在振動臂的安裝根部的位置(基端部)的左側邊緣，且分別形成為一體的呈大致直角三角形的鰭狀部。寬度收縮部62是使一片在基部51的前端，相鄰的另一片在振動臂的安裝根部的位置(基端部)的右側邊緣，且分別形為一體的呈大致直角三角形狀的鰭狀部。
這些結構對于振動臂34、35均相同，所以僅對振動臂34進行說明。
這里，從圖4可知，在振動臂34上形成長槽56的結果是，夾著長槽56的左側的壁部34a與右側的壁部34b各自的厚度D1、D2很不相同，右側的壁部34a比左側的壁部34b厚。
這樣的壁部厚度的不同是在形成長槽56時，因對石英材料進行濕法刻蝕而形成的，這是因為根據在該工序中顯現的刻蝕各向異性，刻蝕的進行速度因石英的晶體結構的方位而不同的緣故。
在本實施方式中，作為調整這樣的刻蝕各向異性引起的振動臂34的左右的剛性平衡的結構，注目于寬度收縮部61、62，把夾著長槽56在寬度方向的一側的寬度收縮部作為大型的寬度收縮部62，把夾著長槽56在寬度方向的另一側的寬度收縮部作為通常大小的寬度收縮部61。即，如圖3所示，將基部51配置在圖的下方，將各振動臂34、35配置成從該基部向著上方延伸，在這種情況下，如圖3和圖4所示，將右側的寬度收縮部作為大型的寬度收縮部62，將左側的寬度收縮部作為比右側的寬度收縮部小的通常大小的寬度收縮部61。
這樣，作為使寬度收縮部的大小在左右側不相同的方法，可以在進行上述濕法刻蝕時，通過使掩膜形狀在左右側不同來實現。
由此，各振動臂34、35在進行彎曲振動時，在應變為最大的振動臂的安裝根部，通過在振動臂34、35的右側形成大型的寬度收縮部62，可以提高該部位的振動臂34、35的右側的剛性。
這里，根據圖4所示的左壁部厚度尺寸D1與右壁部厚度尺寸D2的不同，可以決定大型的寬度收縮部62相對于通常大小的寬度收縮部61的大小。
圖6是對于具有圖5所說明的結構的壓電振動片32，各振動臂進行彎曲振動時的振動位移的模擬的矢量圖。在本實施方式的壓電振動片32中，從圖中所示可知，通過調整各振動臂的左右的應力平衡使其均衡，在與基部的下部附近，即圖3的引出電極52、53附近對應的部位上的應變較小。
與此相對照，圖7是在下述的情況下振動臂進行彎曲振動時的振動位移的模擬的矢量圖，即對于在壓電振動片的振動臂上形成的寬度收縮部，使其左右為相同大小的情況，即，例如當以圖5的振動臂34為例來說明時，使通常大小的左側的寬度收縮部61和右側的大型的寬度收縮部62與圖中的示例不同，使其為相同大小的情況。與圖6的情況相比，在圖7的情況下，在基部的下部附近的變形比圖6的情況大。
圖8是表示壓電振動片的第2實施方式的主要部分放大圖，示出了與圖5相同的部位。該實施方式所圖示的部位以外的部位與圖1～圖5所說明的第1實施方式相同，并且賦予了同一符號的部位結構相同，所以省略了重復說明，以不同點為中心來進行說明。
另外，振動臂34與振動臂35的結構相同，所以僅針對振動臂34進行說明。
在該實施方式中，用于調整左右的剛性的調整結構接近于振動臂34的安裝根部51a而形成。
具體來說，在沿振動臂34的長度方向延伸的長槽56中，關于其左右的壁部65、66，針對右側的壁部66的一部分設置其厚度比左側的壁部65厚的厚度增加部66a。
這樣，在整個長槽56中，可以改善因右側的壁部較薄而引起的振動臂34的左右的剛性平衡的不良。
圖9是第2實施方式中各振動臂進行彎曲振動時的振動位移的模擬的矢量圖。在圖9的情況下，可知在基部的下部附近的應變比圖7的情況小。
圖10是表示壓電振動片的第3實施方式的主要部分放大圖，示出了壓電振動片的各振動臂34、35的前端附近。該實施方式所圖示的部位以外的部位與圖1～圖5所說明的第1實施方式相同，并且賦予了同一符號的部位結構相同，所以省略了重復說明，以不同點為中心來進行說明。
另外，振動臂34與振動臂35的結構相同，所以僅針對振動臂34進行說明。
在該實施方式中，對在振動臂進行彎曲振動時起錘的作用的各振動臂的前端部，改變其左右的重量，從而對于因長槽的左右的壁部的厚度不同而引起的剛性平衡的不同，提供校正用的重量變化。
即，如圖10所示，在振動臂34的前端部，左側的部分形成得比右側的部分大。
具體來說，例如如圖10(a)所示，在振動臂34的前端部的右側側面形成傾斜的缺口部71，通過除去材料，使得假想中心線C1的右側的重量與左側相比被減輕。
另外，例如如圖10(b)所示，在振動臂34的前端部的在假想中心線C1的左側的部分上一體地形成凸部72，通過增加材料，使得左側的重量比右側的重量增大。
在該實施方式中，在整個長槽56中，可以改善因右側的壁部66較薄引起的振動臂34的左右的剛性平衡的不良。
圖11是第3實施方式中各振動臂進行彎曲振動時的振動位移的模擬的矢量圖。在圖11的情況下，可知在基部的下部附近的應變比圖7的情況小。
圖12是表示作為本發明的第4實施方式的石英振動片的陀螺儀傳感器的概略結構的俯視圖。
在圖12中，X方向表示石英的電軸，Y’方向表示石英的機械軸，Z’方向表示石英的光軸(生長軸)。
在圖12中，陀螺儀傳感器80的傳感器主體81被收容于封裝98內，該封裝98內與第1實施方式中所說明的封裝36大致相同，形成為能夠收容傳感器主體81的形態的箱狀，具有激勵傳感器主體81的激勵電路等驅動單元和檢測來自傳感器主體81的振動的電路等(未圖示)。
對石英進行刻蝕，通過與第1實施方式的壓電振動片相同的工序形成傳感器主體81。即，傳感器主體81雖然其形狀與第1實施方式的壓電振動片32不同，但可以通過相同的制造工序形成后述的外形和槽部。
在圖12中，在傳感器主體81的左右的方向上長的基部82相對于封裝98被固定。
激勵用振動臂84、84以基部82的左右的端部附近為起點，在與基部82的延伸方向正交的方向上，并且向著圖12的上方平行地延伸。另外，檢測用振動臂85、85以基部82的左右的端部附近為起點，在與基部82的延伸方向正交的方向上，并且向著圖12的下方平行地延伸。
并且，在各激勵用振動臂84、84的表面側，分別設置沿長度方向排列的長槽部56、56，在這些各槽部中，與第1實施方式同樣地形成激勵電極(未圖示)。通過與之相同的結構，在各檢測用振動臂85、85的表面側和背面側也分別形成槽部，在各槽部中，形成檢測用電極(未圖示)。
在圖12中，陀螺儀傳感器80的激勵用振動臂84、84由作為驅動單元的未圖示的激勵電路施加驅動用電壓，從而如箭頭E、E所示，使其前端部之間相接近或相分離來進行振動。此時，如圖12所示，當繞Y’軸的旋轉角速度ω起作用時，激勵用振動臂84、84受到在X軸方向的振動方向與旋轉角速度ω的矢量積的方向上起作用的科里奧利力(Coriolis force)Fc作用，按照下式，沿著Y’軸(在正Y’方向和負Y’方向交替地)振動(行走式振動)。該振動通過基部82被傳遞到檢測用振動臂85、85。
Fc＝2mV·ω(m是激勵用振動臂84、84的振動部分的質量，V是激勵用振動臂84、84的速度)……(1)式基于檢測用振動臂85的振動的電場被未圖示的檢測用電極作為信號取出，從而能夠進行旋轉角速度ω的檢測。
并且，在本實施方式中，作為在形成長槽時調整因刻蝕各向異性而引起的振動臂84的左右的剛性平衡的結構，注目于振動臂84的安裝根部的寬度收縮部61、62，把夾著長槽56的寬度方向的一側的寬度收縮部作為大型的寬度收縮部62，把夾著長槽的寬度方向的另一側的寬度收縮部作為通常大小的寬度收縮部61。即，如圖13所示，在將各振動臂84、84配置成從基部51向著上方延伸的情況下，如放大圖所示，把右側的寬度收縮部作為大型的寬度收縮部62，把左側的寬度收縮部作為比大型的寬度收縮部62小的通常大小的寬度收縮部61。并且，雖然省略了詳細的說明，但在圖13中，在從基部82向下方平行地延伸的振動臂85、85上，也形成長槽，形成與上述寬度收縮部相同的寬度收縮部。
由此，在各振動臂進行彎曲振動時，在應變最大的振動臂的安裝根部中，通過在振動臂的右側形成大型的寬度收縮部62，可以提高該部位的振動臂的右側的剛性。
并且，在陀螺儀傳感器80的振動臂上，也可以采用圖8或圖10所說明的結構來代替圖13所示的平衡的調整結構，或者除該調整結構之外再采用圖8或圖10所說明的結構。
本發明不限于上述實施方式。可以使各實施方式的各結構適當組合，或省略某些結構，或與未圖示的其它結構組合。
另外，只要是在封裝內收容壓電振動片的裝置，就與石英振子、石英振蕩器、陀螺儀、角度傳感器等名稱無關地，均可將本發明應用于所有的壓電振動片以及利用了上述壓電振動片的壓電器件。
另外，在上述實施方式中，對于封裝利用使用了陶瓷的箱狀的封裝，然而不限于這樣的方式，只要是在金屬制的圓柱狀的外殼等與封裝同等的收容容器中收容壓電振動片，也可將本發明應用于伴有任何封裝或外殼的裝置。
權利要求
1.一種壓電振動片，其特征在于，具有由壓電材料形成的基部；至少一對振動臂，其與該基部一體地形成，并且從上述基部平行地延伸；和形成于上述各振動臂上并且在長度方向上延伸的長槽，以及在長槽中形成的驅動用電極，在上述各振動臂上具有調整結構，用于調整各振動臂的相對于沿其長度方向延伸的假想中心線而言為左右的結構的剛性平衡。
2.根據權利要求1所述的壓電振動片，其特征在于，在上述各振動臂的安裝根部，上述振動臂的臂寬在上述基部側較大，并形成朝著前端側而寬度急劇收縮的寬度收縮部，作為上述調整結構，其相對于上述假想中心線為右側的寬度收縮部形成得比左側的寬度收縮部大。
3.根據權利要求1所述的壓電振動片，其特征在于，上述調整結構形成于上述各振動臂的安裝根部，作為上述調整結構，上述長槽被形成為其相對于上述假想中心線為右側的壁部的厚度比左側的壁部的厚度大。
4.根據權利要求1所述的壓電振動片，其特征在于，上述調整結構形成于上述各振動臂的前端部，作為上述調整結構，在上述振動臂的前端部，相對于上述假想中心線為左側的部分形成得比右側的部分大。
5.一種壓電器件，在收容容器內收容有壓電振動片，其特征在于，上述壓電振動片具有由壓電材料形成的基部；至少一對振動臂，其與該基部一體地形成，并且從上述基部平行地延伸；和形成于上述各振動臂上并且在長度方向上延伸的長槽，以及在長槽中形成的驅動用電極，在上述各振動臂上具有調整結構，用于調整各振動臂的相對于沿其長度方向延伸的假想中心線而言為左右的結構的剛性平衡。
6.一種陀螺儀傳感器，該陀螺儀傳感器具有由壓電材料形成的基部；至少一對以上的振動臂，其與該基部一體地形成，并且從上述基部平行地延伸，其特征在于，上述陀螺儀傳感器還具有形成于上述各振動臂上并且在長度方向上延伸的長槽；以及在該長槽中形成的驅動用電極，在上述各振動臂上具有調整結構，用于調整各振動臂的相對于沿其長度方向延伸的假想中心線而言為左右的結構的剛性平衡。
全文摘要
本發明提供能改善振動平衡、將CI值抑制得較低的壓電振動片和壓電器件。具有由壓電材料形成的基部(51)；至少一對振動臂(34、35)，其與該基部一體地形成，并且從上述基部平行地延伸；和形成于上述各振動臂上并且在長度方向上延伸的長槽，以及在長槽中形成的驅動用電極，在上述各振動臂上具有調整結構(61、62)，用于調整各振動臂的相對于沿其長度方向延伸的假想中心線(C1)而言為左右的結構的剛性平衡。
文檔編號H03H9/19GK1764068SQ200510114238
公開日2006年4月26日 申請日期2005年10月21日 優先權日2004年10月21日
發明者菊島正幸 申請人:精工愛普生株式會社