專利名稱：全自動(dòng)硅片上下料機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種上下料機(jī)，特別涉及一種全自動(dòng)硅片上下料 機(jī)，該設(shè)備屬于獨(dú)立的整體設(shè)備，用于太陽能電池制造行業(yè)或半導(dǎo)體 行業(yè)，實(shí)現(xiàn)硅片到籃具的上料和下料。
技術(shù)背景太陽能電池作為可再生的環(huán)保能源已經(jīng)越來越受到人們的關(guān)注，世界太陽能電池近幾年的年銷售增長率已超過40%，與其相關(guān)的設(shè)備 也得到了迅猛的發(fā)展。目前，在國家倡導(dǎo)節(jié)能的宏觀政策的推動(dòng)下， 北京、上海、廣東、江蘇等都在積極開發(fā)太陽能電池產(chǎn)品。針對(duì)眾多 太陽能電池制造廠家仍采用手工將硅片裝入籃具和從籃具中取出硅 片，發(fā)明了全自動(dòng)硅片上下料機(jī)，它作為太陽能電池生產(chǎn)的輔助設(shè)備， 極大的提高了生產(chǎn)效率并降低了硅片碎片率，有效的降低成本。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供全自動(dòng)硅片上下料機(jī)，解決了手工將硅片裝入籃 具和從籃具中取出硅片，引起的硅片碎片率高和生產(chǎn)效率低的技術(shù)問 題。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是 全自動(dòng)硅片上下料機(jī)，包括電動(dòng)執(zhí)行器l、下料位2、上料臺(tái)位 4、傳送帶6、籃具托盤操作機(jī)構(gòu)7、操作臺(tái)面8、操作面板9、設(shè)備 框架IO、上料位升降機(jī)構(gòu)ll、籃具上升機(jī)構(gòu)12，在所述的操作臺(tái)面 8上的左右兩側(cè)前方處固定設(shè)置有籃具托盤操作機(jī)構(gòu)7，該籃具托盤 操作機(jī)構(gòu)7的操作臺(tái)與臺(tái)面下固定設(shè)置的籃具上升機(jī)構(gòu)12的線性模 組14固定連接，該線性模組14與電機(jī)13的聯(lián)軸器固定連接，從而 實(shí)現(xiàn)對(duì)操作機(jī)構(gòu)7的操作臺(tái)上放置的籃具托盤的升降；在籃具托盤操 作機(jī)構(gòu)7的正后方設(shè)置有傳送帶6，該傳送帶的一端與籃具托盤操作機(jī)構(gòu)7上的籃具托盤對(duì)正，以完成將皮帶上傳送的硅片自動(dòng)依次傳送到每一層籃具中，該傳送帶的另一端的下方為下料位2;在左右兩傳送皮帶的上方設(shè)置有電動(dòng)執(zhí)行器1，其上設(shè)置有吸盤操作裝置3，在 電動(dòng)執(zhí)行器1的前方及兩傳送皮帶的中間位置的操作臺(tái)面8上設(shè)置有 一矩形孔，該孔中設(shè)置有上料臺(tái)位4，該臺(tái)位4與操作臺(tái)面8下固定 設(shè)置的上料位升降機(jī)構(gòu)11上的線性模組16固定連接，升降機(jī)構(gòu)11 中的電機(jī)17通過操作線性模組16實(shí)現(xiàn)上料臺(tái)位4上的硅片的升降； 電動(dòng)執(zhí)行器1上的吸盤操作裝置3可沿導(dǎo)軌水平左右移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)對(duì) 吸附硅片的左右傳送。所述的操作臺(tái)面8上設(shè)置的矩形孔的左右兩側(cè)設(shè)置有吹氣分離 裝置。所述的操作臺(tái)面8上，在每條傳送帶6的兩側(cè)都設(shè)置有定位機(jī)構(gòu) 5，實(shí)現(xiàn)對(duì)每片硅片的方向的矯正和定位。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單操作方便，適用于不同的硅片的自動(dòng)上料和 下料。

圖1是本實(shí)用新型的總體結(jié)構(gòu)示意圖 圖2是上料位升降機(jī)構(gòu)11的結(jié)構(gòu)示意圖 圖3是電動(dòng)執(zhí)行器1的結(jié)構(gòu)示意圖 圖4是籃具上升機(jī)構(gòu)12的結(jié)構(gòu)示意圖具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖詳細(xì)敘述本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
全自動(dòng)硅片上下料機(jī)，主要包括電動(dòng)執(zhí)行器1及其上的吸盤操作裝置3、下料位2、上料位4、定位機(jī)構(gòu)5、傳送帶6、籃具托盤7、 操作臺(tái)面8、操作面板9、設(shè)備框架IO、上料位升降機(jī)構(gòu)ll、籃具上 升機(jī)構(gòu)12、交流伺服電機(jī)13、線性模組14、籃具15。上料位升降機(jī)構(gòu)11和籃具上升機(jī)構(gòu)12的精密定位運(yùn)動(dòng)由交流伺 服電機(jī)13完成。采用高精度、高速、低慣量交流伺服電機(jī)13控制線 性模組14精確移動(dòng)，同時(shí)由編碼器提供反饋信息，形成閉環(huán)控制， 實(shí)現(xiàn)既高速又精確的移動(dòng)。上料位4的吹氣分離裝置在兩側(cè)安裝，潔凈壓縮空氣經(jīng)過調(diào)壓、 節(jié)流，進(jìn)入一個(gè)末端做成扁平的、只留一條細(xì)縫的銅管，并且銅管的 細(xì)縫是垂直的。這樣從銅管細(xì)縫里產(chǎn)生的氣流是垂直的、有層次的， 就能把上料位最上面的硅片有層次的、輕易的吹開，便于吸盤吸附， 既提高了設(shè)備的效率又降低了硅片的碎片率。操作面板9可以旋轉(zhuǎn)，通過它設(shè)置和修改各種工藝動(dòng)作及各項(xiàng)工藝參數(shù)，它還有程序過程控制、故障報(bào)警等功能。吸盤裝置3由氣缸和四個(gè)小吸盤組成，真空吸附可靠，穩(wěn)定性好。 定位機(jī)構(gòu)5采用氣缸運(yùn)動(dòng)限位，自動(dòng)矯正硅片方向，保證硅片安 全可靠的上料。傳送帶6采用質(zhì)地柔軟的圓皮帶，減少與硅片的接觸面積，避免 損傷和污染硅片?；@具托盤7固定籃具采用斜面定位，加裝可調(diào)限位塊，穩(wěn)定可靠。 對(duì)不同尺寸硅片只需簡(jiǎn)單的調(diào)整限位塊。電動(dòng)執(zhí)行器1采用速度和加速度可調(diào)的元件，可以滿足不同工藝 的需要。傳輸速度快，運(yùn)行穩(wěn)定可靠。下料位2設(shè)有吹氣孔，可以將硅片吹起處于懸浮狀態(tài)，防止硅片 劃傷，便于硅片下料。.工作時(shí)，上料位升降機(jī)構(gòu)11上下垂直運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)上料位4上下 垂直運(yùn)動(dòng)，同時(shí)電動(dòng)執(zhí)行器l左右水平運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)吸盤3左右水平運(yùn) 動(dòng)，實(shí)現(xiàn)硅片的吸取，然后電動(dòng)執(zhí)行器l左右水平運(yùn)動(dòng)，將硅片放到 傳送帶6上，定位機(jī)構(gòu)5動(dòng)作矯正硅片，同時(shí)籃具上升機(jī)構(gòu)12帶動(dòng) 籃具托盤7上下垂直運(yùn)動(dòng)，傳送帶6運(yùn)行將硅片送入籃具實(shí)現(xiàn)上料。 籃具上升機(jī)構(gòu)12帶動(dòng)籃具托盤7上下垂直運(yùn)動(dòng)，傳送帶6運(yùn)行將硅 片傳到下料位2實(shí)現(xiàn)下料。
權(quán)利要求1、一種全自動(dòng)硅片上下料機(jī)，包括電動(dòng)執(zhí)行器(1)、下料位(2)、上料臺(tái)位(4)、傳送帶(6)、籃具托盤操作機(jī)構(gòu)(7)、操作臺(tái)面(8)、操作面板(9)、設(shè)備框架(10)、上料位升降機(jī)構(gòu)(11)、籃具上升機(jī)構(gòu)(12)，其特征在于，在所述的操作臺(tái)面(8)上的左右兩側(cè)前方處固定設(shè)置有籃具托盤操作機(jī)構(gòu)(7)，該籃具托盤操作機(jī)構(gòu)(7)的操作臺(tái)與臺(tái)面(8)下固定設(shè)置的籃具上升機(jī)構(gòu)(12)的線性模組(14)固定連接，該線性模組(14)與電機(jī)(13)的聯(lián)軸器固定連接，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)操作機(jī)構(gòu)(7)的操作臺(tái)上放置的籃具托盤的升降；在籃具托盤操作機(jī)構(gòu)(7)的正后方設(shè)置有傳送帶(6)，該傳送帶的一端與籃具托盤操作機(jī)構(gòu)(7)上的籃具托盤對(duì)正，以完成將皮帶上傳送的硅片自動(dòng)依次傳送到每一層籃具中，該傳送帶的另一端的下方為下料位(2)；在左右兩傳送皮帶的上方設(shè)置有電動(dòng)執(zhí)行器(1)，其上設(shè)置有吸盤操作裝置(3)，在電動(dòng)執(zhí)行器(1)的前方及兩傳送皮帶的中間位置的操作臺(tái)面(8)上設(shè)置有一矩形孔，該孔中設(shè)置有上料臺(tái)位(4)，該臺(tái)位(4)與操作臺(tái)面(8)下固定設(shè)置的上料位升降機(jī)構(gòu)(11)上的線性模組(16)固定連接，升降機(jī)構(gòu)(11)中的電機(jī)(17)通過操作線性模組(16)實(shí)現(xiàn)上料臺(tái)位(4)上的硅片的升降；電動(dòng)執(zhí)行器(1)上的吸盤操作裝置(3)可沿導(dǎo)軌水平左右移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)吸附硅片的左右傳送。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)硅片上下料機(jī)，其特征在于， 所述的操作臺(tái)面(8)上設(shè)置的矩形孔的左右兩側(cè)設(shè)置有吹氣分離裝 置。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的全自動(dòng)硅片上下料機(jī)，其特征在 于，所述的操作臺(tái)面(8)上，在每條傳送帶(6)的兩側(cè)都設(shè)置有定 位機(jī)構(gòu)(5)，實(shí)現(xiàn)對(duì)每片硅片的方向的矯正和定位。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種全自動(dòng)硅片上下料機(jī)，它解決了目前在眾多太陽能電池制造廠家仍采用手工將硅片裝入籃具和從籃具中取出硅片，生產(chǎn)效率低，碎片率高，浪費(fèi)嚴(yán)重的技術(shù)問題。全自動(dòng)硅片上下料機(jī)，包括電動(dòng)執(zhí)行器、下料位、吸盤、上料位、定位機(jī)構(gòu)、傳送帶、籃具托盤、操作臺(tái)面、操作面板、設(shè)備框架、上料位升降機(jī)構(gòu)和籃具上升機(jī)構(gòu)。全自動(dòng)硅片上下料機(jī)易于安裝、方便操作、自動(dòng)化程度高，可以提高生產(chǎn)效率，降低碎片率，滿足各種硅片工藝對(duì)上下料的要求。
文檔編號(hào)H01L21/677GK201117644SQ20072010259
公開日2008年9月17日 申請(qǐng)日期2007年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月20日
發(fā)明者吳洪坤, 孫曉波, 瑞 寧, 瑾 張, 李永生 申請(qǐng)人:中國電子科技集團(tuán)公司第二研究所