本技術涉及半導體生產，尤其涉及一種多維調節光學檢測裝置。

背景技術：

1、在半導體生產和性能檢測的過程中，需要對半導體器件的表面溫度進行檢測。例如在光刻后對器件進行溫度檢測以及對光電子半導體器件進行性能測試的過程中等。

2、常用的溫度檢測方式有直接測量和光學檢測。其中，直接測量需要接觸半導體表面，存在引起接觸式不良的風險。光學檢測的原理是利用光學系統采集光信號并將其轉換為電信號以獲得被測物體表面的參數變化，從而計算出被測物體的溫度，這種方式可以避免上述風險。

3、現有的光學檢測裝置一般只利用一種波長的光源通過單一光路完成光信號的采集。如圖1和圖2所示，在圖1和圖2中，第一光源1和第二光源2能夠分別發射不同波長的入射光，入射光穿過透鏡3后由被測器件4反射再由透鏡3折射形成出射光。

4、在需要對被測器件進行不同波長的光學檢測時，則需要將被測器件在不同的裝置之間切換，一方面增加檢測時間而降低檢測效率，另一方面增加了設備成本。

技術實現思路

1、有鑒于此，本技術的目的是提供一種多維調節光學檢測裝置，用于解決在需要對被測器件進行不同波長的光學檢測時，現有的光學檢測裝置存在檢測效率低且設備成本高的問題。

2、為達到上述技術目的，本技術提供一種多維調節光學檢測裝置，包括：支撐組件、調節組件和光學組件；

3、所述支撐組件包括：底座、調節座、鏡筒和內支座；

4、所述調節組件包括：支撐球、多個角度調節螺釘、第一平移調節螺釘、第一導向螺釘、第二平移調節螺釘和第二導向螺釘；

5、所述支撐球設置于所述底座上；

6、所述調節座設置于所述支撐球上，且所述調節座相對于所述支撐球能夠沿水平方向和豎直方向轉動；

7、所述底座上設置有沉孔；

8、所述角度調節螺釘穿過所述調節座伸入所述沉孔內，且所述角度調節螺釘與所述調節座螺紋連接；

9、所述鏡筒可升降設置于所述調節座上；

10、所述內支座固定于所述鏡筒內部；

11、所述光學組件包括：第一光纖座、第二光纖座與二相色鏡；

12、所述二相色鏡固定于所述內支座上；

13、所述第一光纖座沿水平方向可移動設置于所述鏡筒的頂面，且所述第一光纖座沿水平方向上的側面設置有第一導向槽；

14、所述第二光纖座沿豎直方向可移動設置于所述鏡筒的側面，且所述第二光纖座沿豎直方向上的側面上設置有第二導向槽；

15、所述第一光纖座和所述第二光纖座均朝向所述二相色鏡；

16、所述第一平移調節螺釘設置于所述鏡筒上，且抵接所述第一光纖座，用于推動所述第一光纖座沿水平方向滑動；

17、所述第一導向螺釘設置于所述鏡筒上，且伸入所述第一導向槽，用于限制所述第一光纖座沿豎直方向移動；

18、所述第二平移調節螺釘設置于所述鏡筒上，且抵接所述第二光纖座，用于推動所述第二光纖座沿豎直方向滑動；

19、所述第二導向螺釘設置于所述鏡筒上，且伸入所述第二導向槽，用于限制所述第二導向槽沿水平方向移動。

20、進一步地，所述調節組件包括：兩個所述第一平移調節螺釘、兩個所述第一導向螺釘、兩個所述第二平移調節螺釘和兩個所述第二導向螺釘；

21、所述第一光纖座法向垂直的兩個側面上均設置有所述第一導向槽；

22、所述第二光纖座法向垂直的兩個側面上均設置有所述第二導向槽；

23、兩個所述第一平移調節螺釘抵接所述第一光纖座法向垂直的兩個側面；

24、兩個所述第一導向螺釘設置于所述第一光纖座法向垂直的另外兩個側面；

25、兩個所述第二平移調節螺釘抵接所述第二光纖座法向垂直的兩個側面；

26、兩個所述第二導向螺釘設置于所述第二光纖座法向垂直的另外兩個側面；

27、所述第一導向螺釘和所述第二導向螺釘均具備彈性。

28、進一步地，所述第一導向螺釘和所述第二導向螺釘均包括：彈性柱和螺栓本體；

29、所述彈性柱和所述螺栓本體固定連接；

30、所述螺栓本體螺紋連接所述鏡筒；

31、所述彈性柱抵接所述鏡筒，且伸入所述第一導向槽或第二導向槽內。

32、進一步地，所述支撐組件包括：鏡筒座；

33、所述鏡筒座設置于所述調節座上，且所述鏡筒座可伸縮設置；

34、所述鏡筒設置于所述鏡筒座上。

35、進一步地，所述鏡筒座與所述調節座螺紋連接。

36、進一步地，所述光學組件還包括：透光鏡；

37、所述透光鏡設置于所述鏡筒座與所述調節座之間，且被所述鏡筒座與所述調節座夾緊固定。

38、進一步地，所述光學組件還包括：第一光闌和第二光闌；

39、所述第一光闌固定于所述第一光纖座與二相色鏡之間；

40、所述第二光闌固定于所述第二光纖座與二相色鏡之間。

41、進一步地，所述鏡筒上設置有安裝槽；

42、所述第一光闌設置于所述安裝槽內；

43、所述內支座覆蓋所述安裝槽，以將所述第一光闌壓緊于所述安裝槽內。

44、進一步地，所述鏡筒的側面設置有第二安裝槽；

45、所述第二光闌的一部分伸入所述第二安裝槽，所述第二光闌的另一部分沿豎直方向延伸形成凸起塊；

46、所述凸起塊用于限制所述第二光闌的另一部分伸入所述第二安裝槽；

47、所述凸起塊夾緊于所述第二光纖座和所述鏡筒之間。

48、進一步地，所述支撐組件還包括：移動平臺；

49、所述底座沿水平方向可滑動設置于所述移動平臺上；

50、所述底座上設置有透光孔。

51、從以上技術方案可以看出，本技術提供一種多維調節光學檢測裝置，包括：支撐組件、調節組件和光學組件；所述支撐組件包括：底座、調節座、鏡筒和內支座；所述調節組件包括：支撐球、多個角度調節螺釘、第一平移調節螺釘、第一導向螺釘、第二平移調節螺釘和第二導向螺釘；所述支撐球設置于所述底座上；所述調節座設置于所述支撐球上，且所述調節座相對于所述支撐球能夠沿水平方向和豎直方向轉動；所述底座上設置有沉孔；所述角度調節螺釘穿過所述調節座伸入所述沉孔內，且所述角度調節螺釘與所述調節座螺紋連接；所述鏡筒可升降設置于所述調節座上；所述內支座固定于所述鏡筒內部；所述光學組件包括：第一光纖座、第二光纖座與二相色鏡；所述二相色鏡固定于所述內支座上；所述第一光纖座沿水平方向可移動設置于所述鏡筒的頂面，且所述第一光纖座沿水平方向上的側面設置有第一導向槽；所述第二光纖座沿豎直方向可移動設置于所述鏡筒的側面，且所述第二光纖座沿豎直方向上的側面上設置有第二導向槽；所述第一光纖座和所述第二光纖座均朝向所述二相色鏡；所述第一平移調節螺釘設置于所述鏡筒上，且抵接所述第一光纖座，用于推動所述第一光纖座沿水平方向滑動；所述第一導向螺釘設置于所述鏡筒上，且伸入所述第一導向槽，用于限制所述第一光纖座沿豎直方向移動；所述第二平移調節螺釘設置于所述鏡筒上，且抵接所述第二光纖座，用于推動所述第二光纖座沿豎直方向滑動；所述第二導向螺釘設置于所述鏡筒上，且伸入所述第二導向槽，用于限制所述第二導向槽沿水平方向移動。

52、本方案中，第一光纖座和第二光纖座均集成于支撐組件上，在需要對被測器件進行不同波長的光學檢測時，能夠在不切換裝置的情況下對被測器件進行不同波長的檢測，提高檢測效率并節省設備成本；同時，支撐組件能夠沿多軸移動，確保被測物體能夠被光路照射，從而確保檢測的有效性。