本發明涉及燒結爐,特別涉及一種薄膜專用燒結爐。
背景技術:
1、薄膜燒結爐是一種用于薄膜材料燒結處理的設備,常見于電子、光電、半導體、太陽能等領域。燒結是將粉末狀材料通過加熱,使其顆粒結合成一個連續的固體的過程。在薄膜工藝中,燒結的目的是使薄膜材料在基板上形成一個均勻的、致密的、功能性的層;目前的燒結爐功能性較差,前期預備工作并不完善,只能進行簡單的轉移投放,操作繁瑣,基于此,本發明提出一種燒結爐,完善燒結前的預備操作措施,給薄膜燒結作業降低了操作難度。
技術實現思路
1、針對上述技術問題,本發明完善燒結前的預備操作措施,給薄膜燒結作業降低了操作難度。
2、本發明使用方案為:一種薄膜專用燒結爐,包括機架,機架底部設置有燒結爐,燒結爐內部設置有電熱管,且燒結爐上設置有電熱控制器;機架頂部設置有轉移機構,轉移機構包括滑動設置在機架上的升降盤,升降盤上陣列布置有基底機構,用于附著承載物料;在升降盤中心區域設置有預備加工機構,用于預備涂布加工;預備機構包括設置在升降盤上的加工安裝座,加工安裝座開設有四個區域,四個區域中分別設置有檢查機構、兩個涂布機構以及推動機構;在機架的頂部還設置有拆除機構,用于拆除燒結薄膜。
3、進一步地,所述轉移機構包括旋轉安裝在機架頂部的方位盤,以及設置在機架頂部的電機一,電機一輸出軸上設置有齒輪一,齒輪一與方位盤嚙合;方位盤上設置有電機二,電機二輸出軸上設置有皮帶結構,在方位盤上移動設置有導桿二和絲桿二,導桿二和絲桿二的底端與升降盤連接,且絲桿二與電機二輸出軸上皮帶結構構成螺旋副。
4、進一步地,所述基底機構包括旋轉安裝在升降盤上的翻轉齒盤,翻轉齒盤上設置有基底翻轉架,基底翻轉架上伸縮設置有基底層,基底層用于附著承載物料;基底層上連接有推板,推板與基底翻轉架之間連接有彈簧一。
5、進一步地,所述升降盤上設置有翻轉電機,且在升降盤中心區域旋轉安裝有齒圈一,齒圈一與各基底機構上的翻轉齒盤嚙合,翻轉電機驅動任意一個翻轉齒盤,以進行聯動。
6、進一步地,所述預備加工機構包括設置在升降盤上的導桿三和絲桿三,在絲桿三頂部設置有電機三,絲桿三通過電機三驅動,在導桿三和絲桿三上移動設置有位置架,位置架與絲桿三構成螺旋副,且位置架上設置有角度電機,角度電機用于驅動加工安裝座,
7、進一步地,所述加工安裝座上的三個區域中分別設置有控制機構,用于驅動檢查機構和兩個涂布機構;兩個涂布機構中,其中一個用于在基底機構上涂布不粘涂層,另一個用于涂布燒結材料;控制機構包括設置在加工安裝座頂部的控制電機,控制電機輸出軸上設置有控制齒輪,且在加工安裝座頂部旋轉安裝有齒圈二,齒圈二與控制齒輪嚙合,在三個區域中旋轉安裝有控制絲桿,在加工安裝座上且位于控制絲桿頂部旋轉設置有夾持齒輪,夾持齒輪內側設置有電磁夾板,電磁夾板夾持控制絲桿頂部,以帶動控制絲桿同步轉動。
8、進一步地,所述控制機構還包括滑動安裝在加工安裝座上的控制滑座,控制滑座與控制絲桿構成螺旋副,控制滑座上設置有移動皮帶和移動電機,移動電機用于驅動移動皮帶,檢查機構和涂布機構設置在控制滑座上。
9、進一步地,所述檢查機構包括滑動安裝在控制滑座上的檢測電缸,檢測電缸伸縮桿上伸縮設置有接觸檢查桿,且接觸檢查桿上設置有位移傳感器,以輸出反饋接觸檢查桿的伸縮位移,檢測電缸的底部附著在移動皮帶上。
10、進一步地,所述涂布機構包括滑動安裝在控制滑座上的控制滑座上的涂布電缸,涂布電缸底部附著在移動皮帶上,且涂布電缸伸縮桿上設置有涂布頭,在加工安裝座上設置有傳輸箱,傳輸箱與涂布頭連通,以傳輸燒結材料或不粘涂層。
11、進一步地,所述推動機構包括設置在加工安裝座上的推動安裝座,推動安裝座上設置有推動電缸;拆除機構包括設置在機架上的轉移電機和吸附安裝架,吸附安裝架上設置有吸附電缸,吸附電缸伸縮桿上連接有吸附部,吸附安裝架通過轉移電機驅動;在機架上還設置有拆除電缸一,拆除電缸一伸縮桿上設置有拆除電缸二,拆除電缸二伸縮桿上設置有拆除刮刀,用于拆除燒結薄膜。
12、本發明與現有技術相比的有益效果是:(1)在對基底層進行檢查時,通過檢測電缸控制接觸檢查桿接觸在基底層上,通過轉移接觸點位,接觸檢查桿接觸到基底層上不平整區域,產生伸縮位移,通過位移傳感器輸出反饋其伸縮信號,完成整個區域接觸后,以分析基底層的表面平整度,進而便于后續更換維護;(2)在進行燒結物料涂布之前,通過其中一個涂布機構在基底層上涂布不粘涂層,利于后續燒結薄膜的脫離;(3)通過推動機構對推板進行推動,使得基底層滑動,使得基底層延伸至基底翻轉架外側,通過吸附電缸控制吸附部移動,并吸附在薄膜上,拆除電缸一控制拆除電缸二移動,拆除電缸二控制拆除刮刀移動,在薄膜與基底層的貼合處進行刮動操作,即將薄膜脫離,然后通過轉移電機控制吸附安裝架翻轉,實現轉移。
1.一種薄膜專用燒結爐,包括機架(1),機架(1)底部設置有燒結爐(2),燒結爐(2)內部設置有電熱管(4),且燒結爐(2)上設置有電熱控制器(3);其特征在于:機架(1)頂部設置有轉移機構,轉移機構包括滑動設置在機架(1)上的升降盤(8),升降盤(8)上陣列布置有基底機構,用于附著承載物料;在升降盤(8)中心區域設置有預備加工機構,用于預備涂布加工;預備機構包括設置在升降盤(8)上的加工安裝座(14),加工安裝座(14)開設有四個區域,四個區域中分別設置有檢查機構、兩個涂布機構以及推動機構;在機架(1)的頂部還設置有拆除機構,用于拆除燒結薄膜。
2.根據權利要求1所述的一種薄膜專用燒結爐,其特征在于:所述轉移機構包括旋轉安裝在機架(1)頂部的方位盤(103),以及設置在機架(1)頂部的電機一(101),電機一(101)輸出軸上設置有齒輪一(102),齒輪一(102)與方位盤(103)嚙合;方位盤(103)上設置有電機二(5),電機二(5)輸出軸上設置有皮帶結構,在方位盤(103)上移動設置有導桿二(6)和絲桿二(7),導桿二(6)和絲桿二(7)的底端與升降盤(8)連接,且絲桿二(7)與電機二(5)輸出軸上皮帶結構構成螺旋副。
3.根據權利要求1所述的一種薄膜專用燒結爐,其特征在于:所述基底機構包括旋轉安裝在升降盤(8)上的翻轉齒盤(16),翻轉齒盤(16)上設置有基底翻轉架(18),基底翻轉架(18)上伸縮設置有基底層(19),基底層(19)用于附著承載物料;基底層(19)上連接有推板(20),推板(20)與基底翻轉架(18)之間連接有彈簧一(21)。
4.根據權利要求3所述的一種薄膜專用燒結爐,其特征在于:所述升降盤(8)上設置有翻轉電機(15),且在升降盤(8)中心區域旋轉安裝有齒圈一(17),齒圈一(17)與各基底機構上的翻轉齒盤(16)嚙合,翻轉電機(15)驅動任意一個翻轉齒盤(16),以進行聯動。
5.根據權利要求1所述的一種薄膜專用燒結爐,其特征在于:所述預備加工機構包括設置在升降盤(8)上的導桿三(9)和絲桿三(10),在絲桿三(10)頂部設置有電機三(11),絲桿三(10)通過電機三(11)驅動,在導桿三(9)和絲桿三(10)上移動設置有位置架(12),位置架(12)與絲桿三(10)構成螺旋副,且位置架(12)上設置有角度電機(13),角度電機(13)用于驅動加工安裝座(14)。
6.根據權利要求5所述的一種薄膜專用燒結爐,其特征在于:所述加工安裝座(14)上的三個區域中分別設置有控制機構,用于驅動檢查機構和兩個涂布機構;兩個涂布機構中,其中一個用于在基底機構上涂布不粘涂層,另一個用于涂布燒結材料;控制機構包括設置在加工安裝座(14)頂部的控制電機(24),控制電機(24)輸出軸上設置有控制齒輪(23),且在加工安裝座(14)頂部旋轉安裝有齒圈二(22),齒圈二(22)與控制齒輪(23)嚙合,在三個區域中旋轉安裝有控制絲桿(25),在加工安裝座(14)上且位于控制絲桿(25)頂部旋轉設置有夾持齒輪(26),夾持齒輪(26)內側設置有電磁夾板,電磁夾板夾持控制絲桿(25)頂部,以帶動控制絲桿(25)同步轉動。
7.根據權利要求6所述的一種薄膜專用燒結爐,其特征在于:所述控制機構還包括滑動安裝在加工安裝座(14)上的控制滑座(29),控制滑座(29)與控制絲桿(25)構成螺旋副,控制滑座(29)上設置有移動皮帶(30)和移動電機(31),移動電機(31)用于驅動移動皮帶(30),檢查機構和涂布機構設置在控制滑座(29)上。
8.根據權利要求6所述的一種薄膜專用燒結爐,其特征在于:所述檢查機構包括滑動安裝在控制滑座(29)上的檢測電缸(32),檢測電缸(32)伸縮桿上伸縮設置有接觸檢查桿(33),且接觸檢查桿(33)上設置有位移傳感器,以輸出反饋接觸檢查桿(33)的伸縮位移,檢測電缸(32)的底部附著在移動皮帶(30)上。
9.根據權利要求6所述的一種薄膜專用燒結爐,其特征在于:所述涂布機構包括滑動安裝在控制滑座(29)上的控制滑座(29)上的涂布電缸(35),涂布電缸(35)底部附著在移動皮帶(30)上,且涂布電缸(35)伸縮桿上設置有涂布頭(36),在加工安裝座(14)上設置有傳輸箱(34),傳輸箱(34)與涂布頭(36)連通,以傳輸燒結材料或不粘涂層。
10.根據權利要求1所述的一種薄膜專用燒結爐,其特征在于:所述推動機構包括設置在加工安裝座(14)上的推動安裝座(27),推動安裝座(27)上設置有推動電缸(28);拆除機構包括設置在機架(1)上的轉移電機(38)和吸附安裝架(39),吸附安裝架(39)上設置有吸附電缸(4001),吸附電缸(4001)伸縮桿上連接有吸附部(40),吸附安裝架(39)通過轉移電機(38)驅動;在機架(1)上還設置有拆除電缸一(37),拆除電缸一(37)伸縮桿上設置有拆除電缸二(41),拆除電缸二(41)伸縮桿上設置有拆除刮刀(42),用于拆除燒結薄膜。