本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體搬運(yùn)設(shè)備，特別是涉及一種空中運(yùn)輸車的皮帶托接升降控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
1、在半導(dǎo)體生產(chǎn)車間中，采用自動(dòng)物料系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)物料的自動(dòng)化搬運(yùn)。自動(dòng)物料系統(tǒng)主要包括搬運(yùn)系統(tǒng)以及存儲(chǔ)系統(tǒng)。其中，搬運(yùn)系統(tǒng)則主要包括懸掛在天花板上的空中軌道和行駛在該空中軌道上的空中運(yùn)輸車。空中運(yùn)輸車在存儲(chǔ)系統(tǒng)、工藝機(jī)臺(tái)等站點(diǎn)之間運(yùn)輸晶圓載具。使用升降機(jī)將地面?zhèn)鹊目罩羞\(yùn)輸車提升，進(jìn)而允許空中運(yùn)輸車從升降機(jī)駛?cè)肟罩熊壍溃换蛘咴谛枰獙⒖罩羞\(yùn)輸車從空中軌道轉(zhuǎn)移至地面時(shí)，允許空中運(yùn)輸車從空中軌道駛?cè)肷禉C(jī)，再下降至地面。前述升降機(jī)主要有兩種類型：塔式升降機(jī)和皮帶升降機(jī)。
2、皮帶升降機(jī)優(yōu)點(diǎn)是操作靈活不占用地面空間，皮帶升降機(jī)缺點(diǎn)是升降部件使用皮帶卷繞升降，皮帶沒有剛性，升降時(shí)左右搖擺，升上去后升降部件在過空中運(yùn)輸車時(shí)會(huì)有上下浮動(dòng)，空中運(yùn)輸車只能慢速從升降機(jī)上運(yùn)行，無法高速運(yùn)行；升降部件靠皮帶提供托舉力，空中運(yùn)輸車長期在升降部件上行走會(huì)造成皮帶變形、升降電機(jī)損傷等問題。
3、實(shí)現(xiàn)空中運(yùn)輸車從皮帶升降機(jī)上高速運(yùn)行時(shí)，需要皮帶升降機(jī)在z軸方向有托舉功能、xy方向有限位功能、防止升降端翹起功能；在晶圓加工車間內(nèi)各設(shè)備布局緊密，皮帶升降機(jī)僅能配置到較小的空間；所以皮帶升降機(jī)需要在很小的空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)多項(xiàng)功能，而這對(duì)于常規(guī)的機(jī)構(gòu)來說實(shí)現(xiàn)起來較為困難。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、基于此，有必要針對(duì)空中運(yùn)輸車在皮帶升降機(jī)上穩(wěn)定高速行駛的問題，提供一種空中運(yùn)輸車的皮帶托接升降控制系統(tǒng)。
2、根據(jù)本申請(qǐng)的一個(gè)方面，一種空中運(yùn)輸車的托接升降控制系統(tǒng)，包括：升降動(dòng)力部件，所述升降動(dòng)力部件安裝于空中安裝基礎(chǔ)；升降部件，所述升降部件通過皮帶與所述升降動(dòng)力部件的輸出端相連，以能在所述升降動(dòng)力部件的驅(qū)動(dòng)下沿豎直方向升降，所述升降部件包括沿水平方向設(shè)置的升降軌道、設(shè)于所述升降軌道的端部的倚接組件；托接部件，設(shè)于所述升降部件在水平方向的一側(cè)，所述托接部件包括對(duì)接軌道、托接裝置，所述對(duì)接軌道的引導(dǎo)方向沿所述水平方向設(shè)置且與所述空中安裝基礎(chǔ)固定連接，所述托接裝置安裝于所述對(duì)接軌道的端部，所述托接裝置包括能夠在所述水平方向上運(yùn)動(dòng)的托接板、壓料件及驅(qū)動(dòng)組件；控制單元，所述控制單元用以根據(jù)對(duì)接控制指令或分離控制指令控制所述升降部件的升降及所述驅(qū)動(dòng)組件的工作，以使所述倚接組件與所述托接裝置對(duì)接或分離；其中，所述倚接組件與所述托接裝置處于分離狀態(tài)下時(shí)，當(dāng)接收到對(duì)接控制指令，在所述控制單元的控制下，所述升降部件上升至第二位置時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)所述托接板朝向所述升降部件運(yùn)動(dòng)至伸出位置以支撐所述倚接組件；所述升降部件自第二位置下降至第三位置時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)所述壓料件朝向所述升降部件運(yùn)動(dòng)以按壓住所述倚接組件。
3、上述種空中運(yùn)輸車的托接升降控制系統(tǒng)，通過托接裝置與倚接組件配合使用，使得皮帶升降托接系統(tǒng)可以作為空中軌道的一部分，又可以升降天車。托接裝置與倚接組件配合后，形成穩(wěn)定且平緩的天車行走路徑，使得天車經(jīng)過升降部件時(shí)能夠高速穩(wěn)定地行走，如同在直軌上一樣平穩(wěn)地行走，繼而穩(wěn)定地在空中軌道與升降部件之間轉(zhuǎn)移。
1.一種空中運(yùn)輸車的托接升降控制系統(tǒng)，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空中運(yùn)輸車的托接升降控制系統(tǒng)，其特征在于，所述倚接組件上設(shè)有第一檢測(cè)片和第二檢測(cè)片；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的空中運(yùn)輸車的托接升降控制系統(tǒng)，其特征在于，所述托接裝置還包括減速位傳感器，所述減速位傳感器、壓料位傳感器和伸出位傳感器自下而上依次設(shè)置，所述減速位傳感器被所述第一檢測(cè)片觸發(fā)時(shí)產(chǎn)生表征所述升降部件處于第一位置的觸發(fā)信號(hào)；其中
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的空中運(yùn)輸車的托接升降控制系統(tǒng)，其特征在于，所述托接裝置還包括托接板感應(yīng)片、縮回位傳感器、托接位傳感器和壓料傳感器，所述托接板感應(yīng)片用于觸發(fā)所述縮回位傳感器、托接位傳感器和壓料傳感器，所述縮回位傳感器被觸發(fā)時(shí)指示所述托接板處于縮回位置；所述托接位傳感器被觸發(fā)時(shí)指示所述托接板處于伸出位置；壓料傳感器被觸發(fā)時(shí)指示所述壓料件處于伸出位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的空中運(yùn)輸車的托接升降控制系統(tǒng)，其特征在于，
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的空中運(yùn)輸車的托接升降控制系統(tǒng)，其特征在于，
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的空中運(yùn)輸車的托接升降控制系統(tǒng)，其特征在于，在分離過程中，當(dāng)所述伸出位傳感器被觸發(fā)，所述控制單元使升降部件停止運(yùn)動(dòng)，并通過驅(qū)動(dòng)組件使托接板遠(yuǎn)離升降部件運(yùn)動(dòng)；當(dāng)所述縮回位傳感器被觸發(fā)，所述控制單元控制所述升降部件開始下降。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的空中運(yùn)輸車的托接升降控制系統(tǒng)，其特征在于，
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的空中運(yùn)輸車的托接升降控制系統(tǒng)，其特征在于，
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的空中運(yùn)輸車的托接升降控制系統(tǒng)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件包括托接板驅(qū)動(dòng)滑軌、壓料件驅(qū)動(dòng)滑軌、壓料驅(qū)動(dòng)件、壓料伸縮彈簧、托接板止點(diǎn)件、托接板限位件、動(dòng)力機(jī)構(gòu)及壓料件限位件，其中：