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傳感器和電子設備的制作方法

文檔序號:42207774發布日期:2025-06-20 18:48閱讀:131來源:國知局

本技術涉及mems,特別涉及一種傳感器以及應用該傳感器的電子設備。


背景技術:

1、mems(micro-electro-mechanical?system,微機電系統)技術是近年來高速發展的一項高新技術,它采用先進的半導體制造工藝,實現傳感器、驅動器等器件的批量制造,與對應的傳統器件相比,mems器件在體積、功耗、重量以及價格方面有十分明顯的優勢。

2、隨著科技的高速發展,電子設備(例如手機、耳機、電腦)的應用越來越廣泛。電子設備對潔凈度要求較高,為保證主板電路清潔,smd后會有清洗要求,而為了達到完美的清洗效果,往往在水中加入表面活性劑,達到進一步清除有機化合物的作用。

3、相關技術中,電子設備的主板貼裝上mems器件后,mems器件有透氣孔,清洗時會有水進入,表面活性劑起泡后由于超聲震蕩作用會爆破,爆破瞬間會對mems膜/金線產生巨大沖擊力,會造成mems膜破裂、金線斷裂等問題,導致mems器件測試不準確,甚至失去測試功能,最終影響客戶終端應用評估失效。


技術實現思路

1、本實用新型的主要目的是提供一種傳感器和電子設備,旨在解決清洗過程中能夠避免出現失效問題,該傳感器能夠有效保護mems芯片及金線,提高可靠性和產品性能。

2、為實現上述目的,本實用新型提出一種傳感器,所述傳感器包括:

3、殼體,所述殼體包括基板和外殼,所述基板和所述外殼圍合形成容腔,所述基板或所述外殼設有連通所述容腔的聲孔;

4、芯片組件,所述芯片組件設于所述容腔內,并通過第一金線與所述基板電連接,所述芯片組件設有敏感區域;

5、封裝層,所述封裝層設于所述容腔內,并包裹所述第一金線,所述封裝層與所述敏感區域圍合形成感應槽;及

6、防護層,所述防護層封堵所述感應槽的槽口,并與所述敏感區域相對。

7、在一實施方式中,所述芯片組件設于所述基板,所述外殼設有所述聲孔,所述封裝層填充于所述容腔內,所述封裝層包裹所述第一金線和所述芯片組件的周緣,并與所述敏感區域圍合形成所述感應槽;

8、其中,所述封裝層和所述防護層與所述外殼圍合形成連通所述聲孔的聲腔。

9、在一實施方式中,所述封裝層形成有支撐臺,所述支撐臺環繞所述敏感區域設置,以圍合形成所述感應槽,所述防護層的周緣與所述支撐臺連接,以封堵所述感應槽的槽口,并與所述敏感區域相對。

10、在一實施方式中,所述防護層連接并支撐于所述支撐臺背向所述芯片組件的一側;

11、且/或,所述防護層與所述支撐臺之間設有粘結層,所述粘結層由粘結膠形成。

12、在一實施方式中,所述防護層為防水透氣膜;

13、且/或,所述封裝層的材質為環氧樹脂。

14、在一實施方式中,所述外殼為金屬外殼;

15、且/或,所述外殼與所述基板之間焊接或采用導電膠粘接;

16、且/或,所述基板面向所述容腔的一側設有第一焊盤,所述第一金線與所述第一焊盤焊接連接;

17、且/或,所述基板背向所述容腔的一側設有第二焊盤,所述第二焊盤用于與外部電路連接。

18、在一實施方式中,所述芯片組件包括mems芯片和asic芯片,所述asic芯片通過所述第一金線與所述基板電連接,所述mems芯片通過第二金線與所述asic芯片電連接,所述mems芯片設有所述敏感區域;

19、其中,所述封裝層包裹所述第一金線和所述第二金線。

20、在一實施方式中,所述mems芯片和所述asic芯片間隔設于所述基板,所述mems芯片和所述asic芯片均通過膠層與所述基板連接。

21、在一實施方式中,所述asic芯片設于所述基板,并通過膠層與所述基板連接,所述mems芯片堆疊設于所述asic芯片背向所述基板的一側,并通過膠層與所述asic芯片連接。

22、本實用新型還提出一種電子設備,所述電子設備包括上述所述的傳感器。

23、本實用新型技術方案的傳感器通過將殼體設置為基板和外殼,利用基板和外殼圍合形成容腔,從而方便利用容腔安裝、固定和保護芯片組件,且在基板或外殼設有連通容腔的聲孔,使得外界氣流或聲音順利通過聲孔進入容腔,從而方便芯片組件進行檢測或感應;同時,通過在容腔內設置封裝層和防護層,利用封裝層包裹所述第一金線,且利用封裝層與芯片組件的敏感區域圍合形成感應槽,并利用防護層封堵感應槽的槽口,并與敏感區域相對,如此可利用封裝層實現對第一金線的保護,且配合防護層進一步保護芯片組件的敏感區域,如此在清洗過程中,清洗劑和水通過聲孔進入容腔內,由于封裝層和防護層的配合,可有效防止水和氣泡直接接觸芯片組件的敏感區域,以及在氣泡爆破后導致敏感區域破裂或形變、金線斷裂等現象,從而實現保護芯片組件的敏感區域和金線,避免性能變差或失效以及影響產品性能,提高可靠性和產品性能。



技術特征:

1.一種傳感器,其特征在于,所述傳感器包括:

2.如權利要求1所述的傳感器,其特征在于,所述芯片組件設于所述基板,所述外殼設有所述聲孔,所述封裝層填充于所述容腔內,所述封裝層包裹所述第一金線和所述芯片組件的周緣,并與所述敏感區域圍合形成所述感應槽;

3.如權利要求2所述的傳感器,其特征在于,所述封裝層形成有支撐臺,所述支撐臺環繞所述敏感區域設置,以圍合形成所述感應槽,所述防護層的周緣與所述支撐臺連接,以封堵所述感應槽的槽口,并與所述敏感區域相對。

4.如權利要求3所述的傳感器,其特征在于,所述防護層連接并支撐于所述支撐臺背向所述芯片組件的一側;

5.如權利要求1所述的傳感器,其特征在于,所述防護層為防水透氣膜;

6.如權利要求1所述的傳感器,其特征在于,所述外殼為金屬外殼;

7.如權利要求1至6中任一項所述的傳感器,其特征在于,所述芯片組件包括mems芯片和asic芯片,所述asic芯片通過所述第一金線與所述基板電連接,所述mems芯片通過第二金線與所述asic芯片電連接,所述mems芯片設有所述敏感區域;

8.如權利要求7所述的傳感器,其特征在于,所述mems芯片和所述asic芯片間隔設于所述基板,所述mems芯片和所述asic芯片均通過膠層與所述基板連接。

9.如權利要求7所述的傳感器,其特征在于,所述asic芯片設于所述基板,并通過膠層與所述基板連接,所述mems芯片堆疊設于所述asic芯片背向所述基板的一側,并通過膠層與所述asic芯片連接。

10.一種電子設備,其特征在于,所述電子設備包括如權利要求1至9中任一項所述的傳感器。


技術總結
本技術公開一種傳感器和電子設備,涉及MEMS技術領域,該傳感器包括殼體、芯片組件、封裝層及防護層,所述殼體包括基板和外殼,所述基板和所述外殼圍合形成容腔,所述基板或所述外殼設有連通所述容腔的聲孔,所述芯片組件設于所述容腔內,并通過第一金線與所述基板電連接,所述芯片組件設有敏感區域,所述封裝層設于所述容腔內,并包裹所述第一金線,所述封裝層與所述敏感區域圍合形成感應槽,所述防護層封堵所述感應槽的槽口,并與所述敏感區域相對。本技術旨在解決清洗過程中能夠避免出現失效問題,該傳感器能夠有效保護MEMS芯片及金線,提高可靠性和產品性能。

技術研發人員:于文秀,閆文明
受保護的技術使用者:歌爾微電子股份有限公司
技術研發日:20240813
技術公布日:2025/6/19
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