本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備,具體為一種用于半導(dǎo)體單晶爐的排氣裝置。、半導(dǎo)體單晶爐是現(xiàn)代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中最關(guān)鍵的基礎(chǔ)設(shè)備之一,其通過精確控制溫度場與流體動(dòng)力學(xué)條件,使多晶硅原料熔融后以單一晶向重新結(jié)晶,生長出大直徑、無位錯(cuò)的單晶硅棒,在此精密過程中,排氣系統(tǒng)作為維持爐內(nèi)工作環(huán)境的核心子系統(tǒng),承擔(dān)...