本發(fā)明涉及光吸收器,更具體的說是涉及3-14μm中紅外多波段吸收器。
背景技術(shù):
1、近些年來,關(guān)于吸收特定波段電磁波的吸收器研究得到了廣泛的關(guān)注和快速的發(fā)展。它們?cè)趥刹臁鞲小⒊上竦阮I(lǐng)域有著巨大的應(yīng)用潛力。中紅外激光具有獨(dú)特的波段,覆蓋了大氣窗口,覆蓋該波段的吸收器在醫(yī)療操作、汽車制造、消防安全等領(lǐng)域具有重要的實(shí)用價(jià)值。盡管中紅外多波段吸收器的研究取得了一些進(jìn)展,但仍面臨著寬波段設(shè)計(jì)、材料選擇和制備、設(shè)計(jì)復(fù)雜性與可擴(kuò)展性、受環(huán)境影響以及集成與應(yīng)用等方面的制約,限制了吸收器的可擴(kuò)展性和實(shí)用性。
2、相對(duì)于金、銀、銅等金屬,鈦的介電常數(shù)變化緩慢,更有利于多波段的實(shí)現(xiàn),但在加熱環(huán)境下容易氧化,這種特性限制了鈦吸收器的使用環(huán)境。如果將鈦放在一個(gè)穩(wěn)定性更好的結(jié)構(gòu)中,則會(huì)擴(kuò)大鈦結(jié)構(gòu)吸收器的應(yīng)用范圍。
3、因此,如何提供一種基于鈦結(jié)構(gòu)的3-14μm中紅外多波段吸收器是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、有鑒于此,本發(fā)明提供了一種3-14μm中紅外多波段吸收器,覆蓋了中紅外光譜區(qū)域的關(guān)鍵頻段、實(shí)現(xiàn)中紅外多波段完美吸收并且對(duì)光源偏振角不敏感。
2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
3、3-14μm中紅外多波段吸收器,包含多個(gè)嵌入型吸收單元,所述嵌入型吸收單元從底層至表層依次設(shè)置有:
4、位于底層的鈦底層,厚度為t金屬2,t金屬2=0.25μm;
5、位于中間層的硅介質(zhì)層,厚度為t介質(zhì)1,t介質(zhì)1=0.825μm;
6、位于表層的氧化鋁介質(zhì)層,厚度為t介質(zhì)2,t介質(zhì)2=1.45μm;
7、所述硅介質(zhì)層內(nèi)嵌入有金屬十字架,厚度為t金屬3,t金屬3=0.15μm;
8、所述氧化鋁介質(zhì)層內(nèi)嵌入有金屬圓環(huán),厚度為t金屬1,t金屬1=0.15μm;
9、所述鈦底層、所述硅介質(zhì)層、所述金屬十字架、所述氧化鋁介質(zhì)層和所述金屬圓環(huán)周期相同。
10、優(yōu)選的,所述嵌入型吸收單元呈四棱柱;
11、所述鈦底層、所述硅介質(zhì)層和所述氧化鋁介質(zhì)層均為四棱柱,且長和寬均與周期相同。
12、優(yōu)選的,所述金屬圓環(huán)的內(nèi)半徑r金屬1=0.4μm,外半徑r金屬1=0.9μm;
13、所述金屬圓環(huán)與所述硅介質(zhì)層的距離為d金屬1,d金屬1=0.8125um。
14、優(yōu)選的,所述金屬十字架的長l1=2.8μm、寬l2=0.5μm;
15、所述金屬十字架與所述鈦底層之間的距離表示為d1。
16、優(yōu)選的,所述金屬十字架和所述金屬圓環(huán)的材料為鈦。
17、優(yōu)選的,多個(gè)所述嵌入型吸收單元呈陣列排列且位于同一平面。
18、優(yōu)選的,t金屬1:t介質(zhì)1:t介質(zhì)2:t金屬3:t金屬2=0.6:3.3:5.8:0.6:1。
19、優(yōu)選的,所述氧化鋁介質(zhì)層的材質(zhì)為三氧化二鋁。
20、優(yōu)選的,周期p=5μm。
21、經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知,與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明公開提供了一種3-14μm中紅外多波段吸收器,這種結(jié)構(gòu)在保證高吸收的同時(shí)又彌補(bǔ)了金屬ti在加熱環(huán)境下易氧化的缺陷。且吸收器頂部的氧化鋁起到了誘導(dǎo)共振的作用,同時(shí)還可以有效地防止金屬ti的氧化。將金屬ti環(huán)嵌入到氧化鋁介質(zhì)層中,進(jìn)一步增強(qiáng)了結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。通過合理設(shè)計(jì)金屬十字架的尺寸和布局,可以有效地激發(fā)表面等離子體共振,并增強(qiáng)光的吸收效果。本發(fā)明嵌入式復(fù)合結(jié)構(gòu)吸收器能夠在3-14μm的寬波段范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)多波段的吸收,覆蓋了中紅外光譜區(qū)域的關(guān)鍵頻段,使得吸收器能夠滿足不同頻段內(nèi)的吸收要求,提高了在不同應(yīng)用場(chǎng)景下的適應(yīng)性和性能表現(xiàn)。
1.3-14μm中紅外多波段吸收器,其特征在于,包含多個(gè)嵌入型吸收單元,所述嵌入型吸收單元從底層至表層依次設(shè)置有:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的3-14μm中紅外多波段吸收器,其特征在于,所述嵌入型吸收單元呈四棱柱;
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的3-14μm中紅外多波段吸收器,其特征在于,所述金屬圓環(huán)的內(nèi)半徑r金屬1=0.4μm,外半徑r金屬1=0.9μm;
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的3-14μm中紅外多波段吸收器,其特征在于,所述金屬十字架的長l1=2.8μm、寬l2=0.5μm;
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的3-14μm中紅外多波段吸收器,其特征在于,所述金屬十字架和所述金屬圓環(huán)的材料為鈦。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的3-14μm中紅外多波段吸收器,其特征在于,多個(gè)所述嵌入型吸收單元呈陣列排列且位于同一平面。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的3-14μm中紅外多波段吸收器,其特征在于,t金屬1:t介質(zhì)1:t介質(zhì)2:t金屬3:t金屬2=0.6:3.3:5.8:0.6:1。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的3-14μm中紅外多波段吸收器,其特征在于,所述氧化鋁介質(zhì)層的材質(zhì)為三氧化二鋁。