本公開涉及液體噴出裝置、控制方法、基板處理裝置以及物品的制造方法。
背景技術：
1、噴墨裝置等液體噴出裝置通常構成為使用壓電元件等能量產生元件對液體賦予動能，從噴嘴噴出液體。近年來，已知具有液體噴出頭的液體噴出裝置，該液體噴出頭包括分別設置有壓電元件的多個壓力室和與多個壓力室分別獨立地連接的多個噴嘴，能夠獨立地控制液體從各噴嘴的噴出。在該液體噴出裝置中，多個壓力室與貯存有液體的共用液室連通。
2、由于各個壓力室存在制造誤差（尺寸的偏差），因此即使對各壓電元件施加同一波形的驅動信號，從噴嘴噴出的液體的噴出速度和噴出量中的至少一者有時也會產生偏差。這樣的噴出特性的偏差成為在向基板、記錄介質等對象物供給液體時，在對象物中產生液體的濃度不均、條紋等品質劣化的主要原因。
3、因此，在日本特許第3835532號公報中提出了一種用于抑制液體噴出頭中的噴出特性的偏差的技術。在日本特許第3835532號公報中公開了如下技術：針對每個噴嘴，調整對多個壓電元件分別施加的驅動信號的電壓和脈沖寬度中的某一者，以校正從噴嘴噴出的液體的噴出速度和噴出量的偏差。
4、現有技術通過調整針對各噴嘴的驅動信號的電壓、脈沖寬度，能夠校正從各噴嘴噴出的液體的噴出速度、噴出量。然而，驅動信號的電壓和脈沖寬度與從噴嘴噴出的液體的噴出速度和噴出量的關系有時根據附近的噴嘴的動作的有無而大幅變動。這是因為在液體噴出頭中，由于來自壓電元件的壓力波在液室中傳播從而產生液體從附近的噴嘴的噴出變得不穩定的現象、所謂的串擾。
技術實現思路
1、本公開提供一種有利于調整分別從多個噴嘴噴出的液體的噴出速度和噴出量的技術。
2、用于解決問題的方案
3、作為本公開的一方面的液體噴出裝置噴出液體，其特征在于，具有：噴出頭，包括噴出所述液體的多個噴嘴和分別設置于所述多個噴嘴并被提供驅動信號的壓電元件；以及控制部，針對所述多個噴嘴的各個噴嘴，基于表示從所述噴嘴噴出的所述液體的噴出速度與噴出量的相關關系的函數，以將從所述噴嘴噴出的所述液體的噴出速度和噴出量調整到目標范圍的方式決定所述驅動信號，所述控制部求出由所述壓電元件的驅動引起的噴嘴間的空間的壓力變動對所述液體的噴出速度和噴出量造成的影響度，并基于所述影響度進行所述函數的校正。
4、作為本公開的另一方面的控制方法是一種液體噴出裝置的控制方法，所述液體噴出裝置具有噴出頭，所述噴出頭包括：多個噴嘴，噴出液體；以及壓電元件，分別設置于所述多個噴嘴，被提供驅動信號，所述控制方法的特征在于具有如下工序：針對所述多個噴嘴的各個噴嘴，基于表示從所述噴嘴噴出的所述液體的噴出速度與噴出量的相關關系的函數，以將從所述噴嘴噴出的所述液體的噴出速度和噴出量調整到目標范圍的方式，決定所述驅動信號，在所述工序中，求出由所述壓電元件的驅動引起的噴嘴間的空間的壓力變動對所述液體的噴出速度和噴出量造成的影響度，基于所述影響度進行所述函數的校正。
5、作為本公開的又一方面的基板處理裝置對基板進行處理，其特征在于，具有：載置臺，保持所述基板；以及上述液體噴出裝置，對保持于所述載置臺的所述基板噴出液體。
6、作為本公開的又一方面的物品的制造方法的特征在于，具有：使用上述基板處理裝置向基板噴出液體的工序；對被噴出所述液體的所述基板進行加工的工序；以及由加工后的所述基板制造物品的工序。
7、本公開的進一步的目的或其他方面通過以下參照所附附圖說明的實施方式而明確。
8、發明的效果
9、根據本公開，例如能夠提供一種有利于調整分別從多個噴嘴噴出的液體的噴出速度和噴出量的技術。
1.?一種液體噴出裝置，噴出液體，其特征在于，具有：
2.根據權利要求1所述的液體噴出裝置，其特征在于，
3.根據權利要求2所述的液體噴出裝置，其特征在于，
4.根據權利要求2所述的液體噴出裝置，其特征在于，
5.根據權利要求4所述的液體噴出裝置，其特征在于，
6.根據權利要求5所述的液體噴出裝置，其特征在于，
7.根據權利要求5所述的液體噴出裝置，其特征在于，
8.根據權利要求4所述的液體噴出裝置，其特征在于，
9.根據權利要求2所述的液體噴出裝置，其特征在于，
10.根據權利要求6所述的液體噴出裝置，其特征在于，
11.根據權利要求1所述的液體噴出裝置，其特征在于，
12.根據權利要求11所述的液體噴出裝置，其特征在于，
13.一種液體噴出裝置的控制方法，所述液體噴出裝置具有噴出頭，所述噴出頭包括：多個噴嘴，噴出液體；以及壓電元件，分別設置于所述多個噴嘴，被提供驅動信號，所述控制方法的特征在于具有如下工序：
14.?一種基板處理裝置，對基板進行處理，其特征在于，具有：
15.一種物品的制造方法，其特征在于，具有：