本發(fā)明屬于石英制品加工，具體涉及一種帶角向定位的石英基板及配套機(jī)械手抓取裝置。
背景技術(shù)：
1、石英制品因其優(yōu)異的物理化學(xué)性能，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、光學(xué)等高端制造領(lǐng)域。然而，石英材料固有的高硬度和脆性特性，使其在加工和搬運(yùn)過程中極易因外力作用而破裂。為確保加工過程的穩(wěn)定性，現(xiàn)有技術(shù)通常采用蠟粘接方式將石英制品固定于石英基板上，并通過機(jī)械手對(duì)基板進(jìn)行自動(dòng)化搬運(yùn)。
2、目前，為實(shí)現(xiàn)機(jī)械手抓取，石英基板普遍在中心位置設(shè)置圓形導(dǎo)套結(jié)構(gòu)，由機(jī)械手的環(huán)形夾爪夾持該導(dǎo)套以完成基板的拾取與轉(zhuǎn)移。然而，這種基于中心對(duì)稱結(jié)構(gòu)的抓取方式存在顯著缺陷：由于圓形導(dǎo)套缺乏周向（角向）定位功能，基板在抓取、搬運(yùn)及放置過程中容易圍繞中心軸發(fā)生不可控的旋轉(zhuǎn)偏移。這種角向位置的偏差將直接導(dǎo)致基板被放入機(jī)床、瀝油臺(tái)或清洗機(jī)時(shí)定位不準(zhǔn)，嚴(yán)重影響后續(xù)加工工序的精度和產(chǎn)品一致性，甚至造成工件報(bào)廢。
3、為解決此角向定位問題，現(xiàn)有方案往往依賴人工干預(yù)進(jìn)行位置校正，或采用復(fù)雜的視覺定位與伺服調(diào)整系統(tǒng)。前者嚴(yán)重制約了生產(chǎn)效率，難以實(shí)現(xiàn)全流程自動(dòng)化；后者則大幅增加了設(shè)備成本與控制系統(tǒng)復(fù)雜度。因此，行業(yè)內(nèi)亟需一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉且能有效實(shí)現(xiàn)石英基板角向定位的基板結(jié)構(gòu)及其配套的抓取裝置，以突破石英制品全自動(dòng)精密加工的技術(shù)瓶頸。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為解決上述背景技術(shù)中提出的問題。本發(fā)明提供了一種帶角向定位的石英基板及配套機(jī)械手抓取裝置，具有定位準(zhǔn)確的特點(diǎn)。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種帶角向定位的石英基板，包括石英基板組件，所述石英基板組件包括石英基板本體，所述石英基板本體中心固定設(shè)置有基板圓形導(dǎo)套，且石英基板本體一角的板體上設(shè)置有角向定位基準(zhǔn)導(dǎo)套。
3、一種用于權(quán)利要求所述的帶角向定位的石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置，包括機(jī)械臂組件，所述機(jī)械臂組件下方設(shè)置有用于對(duì)石英基板組件進(jìn)行抓取的機(jī)械手組件，且機(jī)械臂組件下方同步設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)械手組件進(jìn)行抓取動(dòng)作的驅(qū)動(dòng)臂組件，所述機(jī)械臂組件前端臂體處固定設(shè)置有裝配座組件，所述裝配座組件內(nèi)插設(shè)有角向定位銷組件，所述角向定位銷組件通過裝配座組件在機(jī)械臂組件前端臂體處形成快速拆裝的裝配結(jié)構(gòu)。
4、在一種帶角向定位的石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置優(yōu)選方案中，所述機(jī)械臂組件包括機(jī)械臺(tái)臂，所述機(jī)械臺(tái)臂一端固定設(shè)置有安裝座，且機(jī)械臺(tái)臂中部的底端設(shè)置有u型臂架，所述u型臂架一側(cè)的一端固定設(shè)置有兩個(gè)臂架滑桿，且u型臂架同側(cè)的另一端固定設(shè)置有電磁鐵。
5、在一種帶角向定位的石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置優(yōu)選方案中，所述機(jī)械手組件包括機(jī)械手座，所述機(jī)械手座頂部固定設(shè)置有固定臂桿，所述固定臂桿上通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)盤，所述驅(qū)動(dòng)盤上開設(shè)有弧形滑槽，且驅(qū)動(dòng)盤邊緣固定設(shè)置有外齒環(huán)，所述機(jī)械手座上開設(shè)有多個(gè)t型滑動(dòng)槽，所述t型滑動(dòng)槽內(nèi)部滑動(dòng)設(shè)置有抓取爪，所述抓取爪頂部固定設(shè)置有撥動(dòng)桿。
6、在一種帶角向定位的石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置優(yōu)選方案中，所述驅(qū)動(dòng)臂組件包括驅(qū)動(dòng)推板，所述驅(qū)動(dòng)推板底部固定設(shè)置有驅(qū)動(dòng)齒臂，所述驅(qū)動(dòng)推板兩端均開設(shè)有推板滑孔，所述驅(qū)動(dòng)推板一側(cè)固定設(shè)置有強(qiáng)力磁鐵，且驅(qū)動(dòng)推板另一側(cè)固定設(shè)置有兩個(gè)頂推彈簧。
7、在一種帶角向定位的石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置優(yōu)選方案中，所述裝配座組件包括裝配臺(tái)座和l型定位銷板，所述裝配臺(tái)座內(nèi)部開設(shè)有裝配槽，所述裝配臺(tái)座頂部固定設(shè)置有導(dǎo)向方桿，所述導(dǎo)向方桿頂部固定設(shè)置有頂壓端板，所述導(dǎo)向方桿頂端桿體上套設(shè)有頂壓彈簧，所述l型定位銷板上與導(dǎo)向方桿貫穿滑動(dòng)連接。
8、在一種帶角向定位的石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置優(yōu)選方案中，所述角向定位銷組件包括定位銷端盤，所述定位銷端盤上貫穿滑動(dòng)設(shè)置有角向定位銷桿，所述角向定位銷桿頂部固定設(shè)置有限位球帽，且角向定位銷桿中部固定設(shè)置有第二座帽，所述定位銷端盤底端固定設(shè)置有第一座帽，所述定位銷端盤一側(cè)固定設(shè)置有端盤側(cè)臂，所述端盤側(cè)臂遠(yuǎn)離定位銷端盤的一端固定設(shè)置有裝配斜頭，所述角向定位銷桿頂部桿體上套設(shè)有頂緊彈簧。
9、在一種帶角向定位的石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置優(yōu)選方案中，所述l型定位銷板底部與裝配臺(tái)座貫穿滑動(dòng)，且l型定位銷板底部為傾斜結(jié)構(gòu)，所述裝配斜頭頂部為傾斜結(jié)構(gòu)，所述裝配斜頭頂部的傾斜結(jié)構(gòu)與l型定位銷板底部的傾斜結(jié)構(gòu)適配，所述裝配臺(tái)座固定在機(jī)械臺(tái)臂遠(yuǎn)離安裝座的一端，所述機(jī)械臺(tái)臂通過安裝座和螺栓固定在預(yù)留的機(jī)位上。
10、在一種帶角向定位的石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置優(yōu)選方案中，所述固定臂桿頂部固定在u型臂架中心位置處，所述抓取爪通過t型滑動(dòng)槽在機(jī)械手座內(nèi)滑動(dòng)，所述撥動(dòng)桿插設(shè)在弧形滑槽內(nèi)，所述驅(qū)動(dòng)推板通過推板滑孔與臂架滑桿貫穿滑動(dòng)，所述頂推彈簧兩端分別固定在u型臂架內(nèi)壁和驅(qū)動(dòng)推板上，所述強(qiáng)力磁鐵與電磁鐵正對(duì)設(shè)置，所述驅(qū)動(dòng)齒臂與外齒環(huán)處于同一水平面上，所述驅(qū)動(dòng)齒臂與外齒環(huán)嚙合。
11、在一種帶角向定位的石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置優(yōu)選方案中，所述角向定位銷桿底部插設(shè)在角向定位基準(zhǔn)導(dǎo)套內(nèi)，所述裝配斜頭插設(shè)在裝配槽內(nèi)，所述頂壓彈簧頂部抵觸在頂壓端板上，且頂壓彈簧底部抵觸在l型定位銷板頂部，通過所述頂壓彈簧對(duì)l型定位銷板的頂推作用，所述l型定位銷板在裝配臺(tái)座內(nèi)處于下插的結(jié)構(gòu)，所述頂緊彈簧頂部抵觸在第一座帽內(nèi)，且頂緊彈簧底部抵觸在第二座帽上。
12、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：
13、1、本發(fā)明對(duì)石英基板組件進(jìn)行抓取時(shí)，先將角向定位銷組件上的角向定位銷桿插設(shè)在角向定位基準(zhǔn)導(dǎo)套內(nèi)，同時(shí)本發(fā)明頂緊彈簧頂部抵觸在第一座帽內(nèi)，且頂緊彈簧底部抵觸在第二座帽上，且角向定位銷桿滑動(dòng)設(shè)置在定位銷端盤上的，通過頂緊彈簧和角向定位銷桿的活動(dòng)設(shè)置，使得角向定位銷桿在角向定位基準(zhǔn)導(dǎo)套內(nèi)插設(shè)時(shí)形成彈性緩沖的結(jié)構(gòu)，避免影響機(jī)械手后續(xù)的下移動(dòng)作，同時(shí)本發(fā)明通過角向定位銷桿在角向定位基準(zhǔn)導(dǎo)套內(nèi)的插設(shè)，實(shí)現(xiàn)對(duì)石英基板組件的角向定位。
14、2、本發(fā)明機(jī)械臂組件前端臂體處固定設(shè)置有裝配座組件，角向定位銷組件通過裝配座組件在機(jī)械臂組件前端臂體處形成快速拆裝的裝配結(jié)構(gòu)。
15、3、本發(fā)明機(jī)械臂組件下方設(shè)置有用于對(duì)石英基板組件進(jìn)行抓取的機(jī)械手組件，且機(jī)械臂組件下方同步設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)械手組件進(jìn)行抓取動(dòng)作的驅(qū)動(dòng)臂組件，當(dāng)機(jī)械手組件對(duì)石英基板組件進(jìn)行抓取時(shí)，多個(gè)同步靠近的抓取爪夾持在基板圓形導(dǎo)套外部，通過此種方式，實(shí)現(xiàn)對(duì)石英基板組件的快速抓取，同時(shí)配合角向定位銷桿在角向定位基準(zhǔn)導(dǎo)套內(nèi)的插設(shè)，當(dāng)抓取石英基板組件時(shí)，實(shí)現(xiàn)石英基板組件的角向固定，防止基板在搬運(yùn)過程中發(fā)生旋轉(zhuǎn)偏移。
1.一種帶角向定位的石英基板，包括石英基板組件（100），其特征在于：所述石英基板組件（100）包括石英基板本體（101），所述石英基板本體（101）中心固定設(shè)置有基板圓形導(dǎo)套（103），且石英基板本體（101）一角的板體上設(shè)置有角向定位基準(zhǔn)導(dǎo)套（102）。
2.一種用于權(quán)利要求1所述的帶角向定位的石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置，包括機(jī)械臂組件（200），其特征在于：所述機(jī)械臂組件（200）下方設(shè)置有用于對(duì)石英基板組件（100）進(jìn)行抓取的機(jī)械手組件（300），且機(jī)械臂組件（200）下方同步設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)械手組件（300）進(jìn)行抓取動(dòng)作的驅(qū)動(dòng)臂組件（400），所述機(jī)械臂組件（200）前端臂體處固定設(shè)置有裝配座組件（500），所述裝配座組件（500）內(nèi)插設(shè)有角向定位銷組件（600），所述角向定位銷組件（600）通過裝配座組件（500）在機(jī)械臂組件（200）前端臂體處形成快速拆裝的裝配結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種帶角向定位石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置，其特征在于：所述機(jī)械臂組件（200）包括機(jī)械臺(tái)臂（201），所述機(jī)械臺(tái)臂（201）一端固定設(shè)置有安裝座（202），且機(jī)械臺(tái)臂（201）中部的底端設(shè)置有u型臂架（203），所述u型臂架（203）一側(cè)的一端固定設(shè)置有兩個(gè)臂架滑桿（204），且u型臂架（203）同側(cè)的另一端固定設(shè)置有電磁鐵（205）。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種帶角向定位石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置，其特征在于：所述機(jī)械手組件（300）包括機(jī)械手座（301），所述機(jī)械手座（301）頂部固定設(shè)置有固定臂桿（308），所述固定臂桿（308）上通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)盤（307），所述驅(qū)動(dòng)盤（307）上開設(shè)有弧形滑槽（306），且驅(qū)動(dòng)盤（307）邊緣固定設(shè)置有外齒環(huán)（305），所述機(jī)械手座（301）上開設(shè)有多個(gè)t型滑動(dòng)槽（302），所述t型滑動(dòng)槽（302）內(nèi)部滑動(dòng)設(shè)置有抓取爪（303），所述抓取爪（303）頂部固定設(shè)置有撥動(dòng)桿（304）。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種帶角向定位石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)臂組件（400）包括驅(qū)動(dòng)推板（401），所述驅(qū)動(dòng)推板（401）底部固定設(shè)置有驅(qū)動(dòng)齒臂（404），所述驅(qū)動(dòng)推板（401）兩端均開設(shè)有推板滑孔（402），所述驅(qū)動(dòng)推板（401）一側(cè)固定設(shè)置有強(qiáng)力磁鐵（405），且驅(qū)動(dòng)推板（401）另一側(cè)固定設(shè)置有兩個(gè)頂推彈簧（403）。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種帶角向定位石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置，其特征在于：所述裝配座組件（500）包括裝配臺(tái)座（501）和l型定位銷板（503），所述裝配臺(tái)座（501）內(nèi)部開設(shè)有裝配槽（502），所述裝配臺(tái)座（501）頂部固定設(shè)置有導(dǎo)向方桿（504），所述導(dǎo)向方桿（504）頂部固定設(shè)置有頂壓端板（506），所述導(dǎo)向方桿（504）頂端桿體上套設(shè)有頂壓彈簧（505），所述l型定位銷板（503）上與導(dǎo)向方桿（504）貫穿滑動(dòng)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種帶角向定位石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置，其特征在于：所述角向定位銷組件（600）包括定位銷端盤（601），所述定位銷端盤（601）上貫穿滑動(dòng)設(shè)置有角向定位銷桿（602），所述角向定位銷桿（602）頂部固定設(shè)置有限位球帽（603），且角向定位銷桿（602）中部固定設(shè)置有第二座帽（606），所述定位銷端盤（601）底端固定設(shè)置有第一座帽（607），所述定位銷端盤（601）一側(cè)固定設(shè)置有端盤側(cè)臂（604），所述端盤側(cè)臂（604）遠(yuǎn)離定位銷端盤（601）的一端固定設(shè)置有裝配斜頭（605），所述角向定位銷桿（602）頂部桿體上套設(shè)有頂緊彈簧（608）。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種帶角向定位石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置，其特征在于：所述l型定位銷板（503）底部與裝配臺(tái)座（501）貫穿滑動(dòng)，且l型定位銷板（503）底部為傾斜結(jié)構(gòu)，所述裝配斜頭（605）頂部為傾斜結(jié)構(gòu)，所述裝配斜頭（605）頂部的傾斜結(jié)構(gòu)與l型定位銷板（503）底部的傾斜結(jié)構(gòu)適配，所述裝配臺(tái)座（501）固定在機(jī)械臺(tái)臂（201）遠(yuǎn)離安裝座（202）的一端，所述機(jī)械臺(tái)臂（201）通過安裝座（202）和螺栓固定在預(yù)留的機(jī)位上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種帶角向定位石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置，其特征在于：所述固定臂桿（308）頂部固定在u型臂架（203）中心位置處，所述抓取爪（303）通過t型滑動(dòng)槽（302）在機(jī)械手座（301）內(nèi)滑動(dòng)，所述撥動(dòng)桿（304）插設(shè)在弧形滑槽（306）內(nèi)，所述驅(qū)動(dòng)推板（401）通過推板滑孔（402）與臂架滑桿（204）貫穿滑動(dòng)，所述頂推彈簧（403）兩端分別固定在u型臂架（203）內(nèi)壁和驅(qū)動(dòng)推板（401）上，所述強(qiáng)力磁鐵（405）與電磁鐵（205）正對(duì)設(shè)置，所述驅(qū)動(dòng)齒臂（404）與外齒環(huán)（305）處于同一水平面上，所述驅(qū)動(dòng)齒臂（404）與外齒環(huán)（305）嚙合。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種帶角向定位石英基板的配套機(jī)械手抓取裝置，其特征在于：所述角向定位銷桿（602）底部插設(shè)在角向定位基準(zhǔn)導(dǎo)套（102）內(nèi)，所述裝配斜頭（605）插設(shè)在裝配槽（502）內(nèi)，所述頂壓彈簧（505）頂部抵觸在頂壓端板（506）上，且頂壓彈簧（505）底部抵觸在l型定位銷板（503）頂部，通過所述頂壓彈簧（505）對(duì)l型定位銷板（503）的頂推作用，所述l型定位銷板（503）在裝配臺(tái)座（501）內(nèi)處于下插的結(jié)構(gòu)，所述頂緊彈簧（608）頂部抵觸在第一座帽（607）內(nèi)，且頂緊彈簧（608）底部抵觸在第二座帽（606）上。